50 Prakt. Met. Sonderband 50 (2016)
Winkel auf die Pr
Abbildung 2: Geometrie des Versuchsaufbaus den. Dieser Proze
obe fiir eine FIB/REM Tomographie mit EBSD. In nierung der FIB-£
ro der Abtragsposition (links) ist die Probe auf ei- 2. Durch eine me
nen um 54° vorgekippten Halter montiert. Der
ule at Probenkante gebr:
Probentisch ist um 16° in entgegengesetzter : :
Richtung gekippt. Der Ionenstrahl steht senk- eigentliche Tomo
recht auf der Probenkante bzw. parallel zur Pro- derten Genauigke
benoberfliche. Durch Rotation des Aufbaus um nen eine Herausfc
180° wird die EBSD-Position (rechts) erreicht. 3. Beim sogenanr
Die Normale der Probenoberfliche ist um 70 Hilfe des FIB fre
zum einfallenden Elektronenstrahl gekippt.
benhalter transfer
Abbildung 3: Geometrie des Versuchsaufbaus
x für eine FIB/REM Tomographie mit EBSD. In
Tom der Abtragsposition (links) ist die Probe auf ei-
nen um 36° vorgekippten Halter montiert. Der
Probentisch ist zusätzlich um 16° gekippt. Der
Ionenstrahl steht senkrecht auf der Probenober-
fläche bzw. parallel zur Probenkante. Durch Ro-
tation des Aufbaus um 180° wird die EBSD-Po-
sition (rechts) erreicht. Die Normale der Proben-
kante (Querschnittsfliche) ist um 70° zum ein-
: fallenden Elektronenstrahl gekippt.
Da der Detektor für die EBSD-Messung leicht unterhalb der Probe liegen muss, muss die untersuchte
Probenstelle zwingend am Probenrand liegen. Abbildung 4 verdeutlicht die Situation an einer belie-
bigen Probenstelle. Die Elektronen aus der freigelegten Querschnittsfliche werden durch die Probe
abgeschirmt und erreichen nicht den EBSD-Detektor.
Abbildung 4: Werden die FIB/REM Serienschnitte an einer beliebigen
Probenstelle und nicht am Rand der Probe durchgefiihrt, so schirmt die Abbildung 5: ROI-
Probe in der EBSD-Position die Elektronen ab und es kann keine EBSD- dem Mikromanipule
Messung durchgefiihrt werden. pulator (e). Probenh
K
72
©) Die Präparation «
1 mikroskopie. Di
; noch eine kleine
ein Mikromanip:
: dung zum umlie
; Fp : EE . Standard TEM-
Um dennoch an einer beliebigen Probenstelle messen zu können gibt es prinzipiell drei Vorgehens- ( :
: Platinablagerung
weisen: 2
: teas . aE 2 : : trennt und die R
1. Die Probe wird in der Konfiguration wie in Abbildung 2 ein wenig mehr gegen den Ionenstrahl 50)
gekippt, sodass dieser nicht mehr exakt senkrecht zur Probenkante, sondern unter einem sehr flachen Mit Hilfe der RC
rische Entladun:
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