Prakt. Met. Sonderband 50 (2016) 51
Winkel auf die Probenoberfliche trifft. Dadurch können auch Bereiche der Probenmitte erreicht wer-
>s Versuchsaufbaus den. Dieser Prozess ist jedoch aktuell nicht automatisierbar, da eine Referenz fiir die exakte Positio-
phie mit EBSD. In nierung der FIB-Schnitte und der Abbildung fehlt und daher manuell nachjustiert werden muss.
Hse of 2. Durch eine metallographische Zielpriparation kann der interessierende Bereich der Probe an die
entgegen gesetzter Probenkante gebracht werden. Diese Methode ist, falls möglich, zu bevorzugen, da in diesem Fall die
nstrahl steht senk- eigentliche Tomographie wie üblich durchgeführt werden kann. Die Zielpräparation mit einer gefor-
w. parallel zur Pro- derten Genauigkeit im Bereich von wenigen pm stellt jedoch auch fiir erfahrene Metallographen/in-
on des Aufbaus um nen eine Herausforderung dar.
2 (rechts) erreicht. 3. Beim sogenannten ROI-Transfers (ROI — region of interest) kann der interessierende Bereich mit
erfläche ist um 70° . . . a . : .
strahl gekippt. Hilfe des FIB freigeschnitten und mit einem Mikromanipulator an den Probenrand oder einen Pro-
benhalter transferiert werden (Abbildung 5).
;s Versuchsaufbaus
phie mit EBSD. In
st die Probe auf ei-
alter montiert. Der
n 16° gekippt. Der
uf der Probenober-
enkante. Durch Ro-
wird die EBSD-Po-
ormale der Proben-
t um 70° zum ein-
‘kippt.
; die untersuchte
n an einer belie-
durch die Probe
an einer beliebigen
thrt, so schirmt die Abbildung 5: ROI-Transfer: Auswahl der Probenstelle (a), freischneiden des interessierenden Bereichs (b), lift-out mit
kann keine EBSD- dem Mikromanipulator (c), Transfer zum Probenhalter (d), Befestigung durch Pt-Ablagerung und Trennen vom Mani-
pulator (e). Probenhalter mit transferiertem Probenvolumen (f).
Die Präparation erfolgt ähnlich zur FIB-Zielpräparation von Proben für die Transmissionselektronen-
mikroskopie. Die ROI (Abbildung 5a) wird rundherum mit dem Ionenstrahl freigeschnitten und nur
noch eine kleine Verbindung zum umliegenden Material erhalten (Abbildung Sb). Anschließend wird
ein Mikromanipulator durch ioneninduzierte Platinablagerung an der ROI befestigt und die Verbin-
dung zum umliegenden Material getrennt (Abbildung 5c). Die ROI wird nun zu einem Probenhalter
Irei Vorgehens- (Standard TEM-Grids für FIB-Präparation) transferiert (Abbildung 5d) und dort mit ioneninduzierter
Platinablagerung befestigt (Abbildung Se). Zuletzt wird die Verbindung zum Mikromanipulator ge-
d trennt und die ROI kann für die FIB/REM Serienschnitte mit EBSD verwendet werden. (Abbildung
en Ionenstrahl 50)
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Mit Hilfe der ROI-Transfer Technik wurde beispielsweise die Werkstoffschidigung durch eine elekt-
rische Entladune mittels FIB/REM Serienschnitten und EBSD-Abbildung untersucht [10]
