Figure 4: The effects of systematic image errors after "m m 3.5. 
Anblock adjustment. 
Deformation type A 
  
p= oP 
  
  
A A L7 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
Oy = 01 "n 0 = 53 um 
A 59 um 500 um a, 1158 um 500 pm o em 
6, = 35 um scale | 7, = 41 um Scale | 
e max =118 um 0 e max =154 um 0 
e x =119 pm ex z161 um 
5.6 
  
o, = 50 um 6, = 98 pm | 
= =10 m 
g^ 00 Am 500 um ey 14} 500 um 
By = 44 "m scale | o T 34 um Scale : 
e_ max =173 um 0 e_ max =284 um 
e max -186 um e max =308 um 
y " y