3. Bedingungen, von denen die richtige Wiedergabe eines Objektes abhängt 
ı 100 Ä Zum weiteren Verständnis ist es notwendig, kurz die Faktoren zu betrachten, von denen die 
btastet. formgetreue Wiedergabe und der Bildkontrast bei der Abbildung mittels Sekundär- und 
Primärelektronen abhängt. 
hysika- Ein Flächenelement wird bei Primärelektronen überhaupt nur dann wiedergegeben, wenn der 
anderer Winkel zwischen Oberflächennormale und Mittelachse der Zählanordnung kleiner als 90° ist, 
strahlen bei Sekundärelektronen auch dann noch, wenn auch bedeutend schwächer, wenn dieser 
<örpern Winkel größer als 90° ist. Nur die Primärelektronen, die den Zähler auf geradem Wege 
weiche, erreichen, tragen zum Bild bei. D. h. die Stelle, von der sie ausgehen, muß vom Zähler her 
handen. gesehen „sichtbar“ sein. Das an die Zählanordnung angelegte Fangpotential von etwa 
allel zu + 200 V vermag auch Sekundärelektronen einzufangen, die von Stellen kommen, die vom 
nit dem Zähler her gesehen nicht „sichtbar‘“ sind. 
Ein Flächenelement wird unter diesen Bedingungen nach Form, Lage und Größe nur dann 
richtig wiedergegeben, wenn 
längere a) es nicht wesentlich kleiner als der jeweils benutzte Strahldurchmesser ist, 
en sehr b) es in seiner ganzen Ausdehnung vom Strahl abgetastet (ausgeleuchtet) wird und 
nur die c) die Flächennormale mit der Strahlrichtung zusammenfällt. 
rhältnis 
<tronen, Zu a) 
tensität Die Auflösung wird durch den Strahldurchmesser bestimmt. Es kann zwar noch die 
rosonde Anwesenheit von Objekten, deren kleinster Durchmesser kleiner ist als der Strahldurch- 
kurzem messer, nachgewiesen werden, aber sie werden weder nach Form noch nach Größe richtig 
rbild zu abgebildet. 
ie aller- 
nen hier Zu b) 
ıe Wege Ein vom abtastenden Strahl nicht überstrichenes Element der Objektoberfläche kann nicht 
arf aber abgebildet werden. Das ist zwar eine triviale Erkenntnis, sie wird jedoch häufig übersehen. 
ıf 100 Ä Zum Beispiel wird die Zeilenzahl meistens so ausgewählt, daß bei der größten benutzten 
kolben- Vergrößerung, d. h. im jeweils kleinsten vom Elektronenstrahl überstrichenen Feld auf dem 
s Strahl- Objekt, die einzelnen Zeilen sich zumindestens in gewissem Umfang überdecken. Beim Über- 
gang auf eine geringere Vergrößerungsstufe wird nun im allgemeinen nie der Durchmesser des 
abtastenden Strahles, wie es an und für sich sein müßte, vergrößert. Zwischen den einzelnen 
vom Strahl erfaßten Zeilen bleiben dann erhebliche Lücken, die in allen Fällen zu einer 
verfälschten Information über die Form führen (Fig. 3). Man erkennt den Verlust an Detail- 
Haan und informationen durch unvollständige „Ausleuchtung“ auch sofort am fertigen Bild, wenn man 
d 2. über z. B. einen Ausschnitt aus einer mit der Vergrößerung x hergestellten Aufnahme nachträglich 
en müßte optisch auf 3 x-fach vergrößert. Diese optische Nachvergrößerung (Fig. 4a)*) ist unschärfer 
Si und zeigt wesentlich weniger Details als die Vergleichsaufnahme, bei der die 3 x-fache Ver- 
größerung durch entsprechende Aussteuerung der Ablenkung des abtastenden und des 
oben abbildenden Strahles, also elektronisch, erzielt wurde (Fig. 4b). Diese Aufnahme der Ätz- 
eı denen 
Wa *) Die Vergrößerung aller Mikroaufnahmen geht aus Fig. 36 hervor, in der die Maßstab-Striche erläutert 
werden. 
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