grübchen in einer durch Diffusion erzeugten Eisen-Wolfram-Mischkristallschicht ist gleich- opt 
zeitig ein gutes Beispiel dafür, welche zusätzlichen Informationen z. B. über Versetzungs- kar 
dichte und -anordnung u. U. REM-Aufnahmen zu entnehmen sind. HA 
Zu c) Die 
Sobald die Objektoberfläche zum Primärstrahl geneigt ist, weist das endgültige Bild Maß- sch 
stabsverzerrungen auf. Dafür ist besonders bei solchen Aufnahmen zu achten, bei denen eine Zel 
maßstäbliche Auswertung erforderlich ist, z. B. bei Ätzgrübchen für die Texturbestimmung. mit 
Die Helligkeit im Endbild (der Kontrast) hängt von folgenden Faktoren ab: be 
a) sowohl bei Primär- wie auch Sekundärelektronen von der Zahl der je Flächeneinheit 
auffallenden Elektronen, d. h. bei sonst gleichen Verhältnissen von dem Winkel zwischen 2 
Oberflächennormale und Primärstrahl, Hir 
b) bei den rückgestreuten schnellen Primärelektronen von der Ordnungszahl der in der Ober- ah 
fläche vorhandenen chemischen Elemente, die 
c) bei den langsamen Sekundärelektronen von dem Winkel zwischen Oberflächennormale De 
und der Mittelachse der Zählanordnung. es 
Zu a) 
Je größer die Abweichung der Oberflächennormale von der Richtung des Primärstrahles ist, 
desto geringer ist die Elektronendichte je Flächeneinheit. 8 
Zu b) 
Je höher die Ordnungszahl der in der Oberfläche vorhandenen Elemente ist, desto größer ist 
die Zahl der rückgestreuten Elektronen. 
Zu c) 
Obwohl durch die Kollektorspannung Sekundärelektronen aus einem weiten Raumwinkel- 
bereich eingezogen werden, ist die Ausbeute der Sekundärelektronen am größten bei den 
Flächen, deren Oberflächennormale mit der Mittelachse der Zählanordnung übereinstimmt. 
Ein unter bevorzugter Verwendung von Sekundärelektronen (d. h. bei voll eingeschalteter 4. 
Kollektorspannung) aufgenommenes rasterelektronenmikroskopisches Bild erweckt daher, In 
vereinfacht dargestellt, den Eindruck eines lichtoptischen Bildes, bei dem das von der Zähl- mil 
anordnung her „beleuchtete Objekt aus Richtung des abtastenden Strahles betrachtet wird. Kür 
Als Beispiel dafür diene Fig. 5a und b, die die Oberfläche einer für das Transmissions-Elektro- un 
nenmikroskop bestimmten Ausdünnung einer Eisen-Chrom-Mischkristallschicht zeigen. Mit 
diesem Bild soll auch gleichzeitig darauf hingewiesen werden, daß es grundsätzlich ratsam ist, 4. 
sich alle Ausdünnfolien vor und gegebenenfalls nach der Untersuchung im TEM mit dem Pri 
REM anzusehen. 
Die erreichbare Auflösung*) hängt, wie bereits ausgeführt, vom Durchmesser des abtastenden Die 
Elektronenstrahls ab. Da heute mit den handelsüblichen Rasterelektronenmikroskopen bei Al 
*) Der Begriff Auflösung wird hier in einem strengeren Sinn verwendet, als dies bei anderen Mikroskopen a 
wie etwa dem Lichtmikroskop und dem TEM geschieht. Dort wird häufig nicht gefordert, daß der 
Gegenstand nach Form und Größe richtig abgebildet wird, sondern lediglich, daß zwei Gegenstände in TI1E) 
einem der Auflösung entsprechenden Abstand noch als getrennt zu erkennen sind. Alı 
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