t gleich- optimaler Einstellung der Strahl bis auf etwa 100 bis 150 Ä Durchmesser gebündelt werden
etzungs- kann, lassen sich mit Hilfe dieser Instrumente noch Gegenstände etwa dieser Abmessungen
nach Form und Größe richtig abbilden.
Die Tiefenschärfe der rasterelektronischen Abbildung ist mindestens mit der beim klassi-
ild Maß- schen TEM erreichbaren vergleichbar, gegenüber dem Lichtmikroskop ist sie um einige
nen eine Zehnerpotenzen besser. Das REM hat gegenüber dem TEM bei der Abbildung von Objekten
immung. mit starken topographischen Unterschieden jedoch den Vorteil, daß es
l. gestattet, diese Objekte direkt im Mikroskop zu untersuchen, daß also vorher nicht etwa
‚neinheit eine Replika angefertigt zu werden braucht, und
zwischen 2. daß auch räumlich komplizierte Strukturen richtig abgebildet werden können.
Hinterschneidungen und Überschneidungen u. ä. stören hier im Gegensatz zum Replikaver-
ler. Ober fahren nicht. Die in Fig. 6 wiedergegebene Bildreihe einer oxydierten FeB-Oberfläche soll
diese Eigenschaft des REM illustrieren. Das Replikaverfahren versagt in einem solchen Fall.
Damit ergibt sich für die Metallographie, daß das REM demnach bei all den Problem-
ınormale . CE
stellungen vorteilhaft sein dürfte,
a) bei denen die gesuchten Informationen aus zwangsläufig bereits vorhandenen topographi-
schen Unterschieden der Oberflächenstruktur zu entnehmen sind, z. B. beim Studium von
Ahles ist Brüchen oder der Oberflächenveränderung durch chemische, physikalische oder mechani-
} sche Einwirkungen (Korrosion, Oxydation, Strahlung, Verschleiß, Bearbeitung usw.)
b) oder wo es durch geeignete Präparation möglich ist, die interessierenden Gefügebestand-
teile einzeln oder in Gruppen aus der Matrix freizulegen. Diese Präparationsmethoden
‚rößer ist können chemischer (selektiver Korrosionsangriff durch Ätzen), elektrochemischer
(selektiver Korrosionsangriff durch Elektrolyse), physikalischer (selektiver Angriff z. B.
durch Ionenbeschuß usw.) oder mechanischer (Freilegung durch geeignet geführten
. Bruch) Natur sein oder in einer Kombination mehrerer dieser Methoden bestehen (z. B.
mwinkel- Brechen und Ätzen der Bruchfläche).
ı bei den
nstimmt. |
chalteter 4. Anwendungsbeispiele
kt daher, In den folgenden Ausführungen werden einige der Möglichkeiten, die das Rasterelektronen-
der Zähl- mikroskop für die Darstellung von Gefügen bietet, anhand von einigen wenigen, etwas will-
ıtet wird. kürlich aus mittlerweile einigen Tausend rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen
5-Elektro- unseres Institutes herausgegriffenen Beispielen aufgezeigt.
:‚igen. Mit
atsam ist, 4.1. Gefügedarstellungen im unpräparierten Schliff durch bevorzugte Benutzung der
mit dem Primärelektronen
tastenden Die in der Bildreihe 7 wiedergegebenen Aufnahmen der Oberfläche zweier geschliffener
xopen bei Aluminiumproben soll zeigen, welche zusätzlichen Informationen bei bevorzugter Heran-
. ziehung der Primärelektronen zum Bildaufbau gewonnen werden können. Es ist gleichzeitig
De a er auch ein Beispiel für eine Fragestellung, bei der topographische Unterschiede (Bearbeitungs-
enstände in riefen) bereits vorgegeben sind. Einem Teil einer aus reinsten Bestandteilen erschmolzenen
Aluminium-Magnesium-Silizium-Legierung wurde 0,48 Gew.-% Eisen zugegeben. Durch
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