Scannin 
CS ATEM 
IS] (Si me a = 
1 2) — 5 ———— 
| n 
> Scan D Sn 
2 1 b- A) 
P Bl m = 
/ - 
T 7) _ = 
Fig. 1. Schema eines Rastermikroskops. Der abtas- Fig. 2. Die rasterförmige Abtastung der Objekt- a 
tende Strahl ist durch eine Wellenlinie dargestellt, und der Bildfläche wird dadurch erzeugt, daß die ET 
das gemessene physikalische Phänomen durch Aus- zur Ablenkung in X-Richtung dienende Sägezahn- 
schnitte aus der Kugelwelle angedeutet. Vom Meß- spannung eine um den Faktor N höhere Frequenz Fi 
fühler geht das Signal über einen Verstärker auf ein als die für die Ablenkung in Y-Richtung verwen- Ta; 
Anzeigeinstrument und eine Kathodenstrahlröhre, dete hat. 
Pi 3000:1 — 7 1 um 
— 100 um 
—— ; =] 11mm 
#1 11000:1 ' 4 $ 
nd / 
Fig. 3a. Oben: Das Objekt (links) wird gerade voll- Fig. 3b. Zur Erläuterung der verwendeten Maß- N 
ständig von den einzelnen Zeilen überdeckt. Die stab-Striche an den Mikroaufnahmen. 
vergrößerte Abbildung auf dem Bildschirm (rechts) 
gibt in etwa das Objekt formgetreu wieder. Wird Fi 
bei der selben Zeilenzahl eine dreifach niedere Ver- 
größerung gewählt, erreicht der abtastende Strahl | 
nur noch ein Drittel der Objektfläche, das Objekt Fi 
wird nicht mehr richtig abgebildet, tr 
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