Zum gegenwärtigen Stand der Elektronenstrahl-Mikroanalyse 
H. MALISSA 
(Institut für Mikrochemie, Technische Hochschule Wien) 
Nur wenige analytische Methoden haben sich so schnell entwickelt und eine so breite 
Anwendung gefunden wie die Elektronenstrahl-Mikroanalyse. Die prinzipiellen General- 
vorstellungen sind zwar gut ausgereift, doch haftet ihnen hin und wieder etwas Empirisches 
an, wenn verallgemeinert wird, 
Der Bereich der Elemente, der bereits bestimmt werden kann, reicht, je nach Analysator- 
kristall vom Beryllium (Lithium, wenn Gitter) bis zum Uran, und die bestimmbaren 
Konzentrationen reichen je nach Zählsystem und Matrix von 0,01 bis 100 %. 
Die Geräte sind nun in der 3. Generation schon sehr ausgereift und erlauben die vielseitige 
Auswertung der Signale sowohl zur quantitativen Analyse als auch zur Bildherstellung. Die 
Fokussierung des Elektronenstrahls reicht auch bei kommerziellen Geräten jetzt herab bis zu 
0,1 um, daher sind auch die Rückstreubilder besser. Die Erfassung von Sekundärelektronen- 
bildern enormer Schärfentiefe ist schon eine Selbstverständlichkeit. Die Kombination mit 
on-line oder off-line Rechensystemen hat mitgeholfen, die Position der Elektronenstrahl- 
analyse außerordentlich stark zu machen. 
(Bei Redaktionsschluß lag kein Manuskript vor.) 
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