Genauigkeit und Eindeutigkeit der kristallographischen 
Orientierungsbestimmung mittels Elektronenbeugung 
MANFRED VON HEIMENDAHL 
(Institut für Werkstoffwissenschaften I der Universität Erlangen/Nürnberg) 
1. Einleitung 
Die Feinbereichsbeugung im Elektronenmikroskop liefert von einem ausgeblendeten, ein- 
kristallinen Probenbereich der Größenordnung 1 bis 5 um @ ein Punktdiagramm (Laue- 
Diagramm), aus dem man die Orientierung der Probenstelle in Bezug auf ein ortsfestes 
Achsenkreuz bestimmen kann ! bis * 71 eider ist jedoch diese Orientierungsbestimmung im 
allgemeinen weder besonders genau noch eindeutig. D. h., es können Meßfehler von + 5 bis 
+ 10° (in ungünstigen Fällen) auftreten, und überdies kann ein gegebenes Beugungsdiagramm 
(in der Regel) durch zwei verschiedene Kristallorientierungen erzeugt werden (Zwei- 
deutigkeit). Vor kurzem wurden bereits an anderen Stellen !;? ausführlichere Zusammen- 
stellungen der verschiedenen Möglichkeiten gegeben, die Genauigkeit zu verbessern bzw. die 
Eindeutigkeit zu gewinnen. Deshalb sollen hier diese Möglichkeiten nur noch einmal kurz 
aufgeführt werden, danach aber auf eine kürzlich neu erkannte Art der Zweideutigkeit — die 
sog. „Koinzidenz-Zweideutigkeit‘“ — näher eingegangen werden. 
2, Genauigkeit der Orientierungsbestimmung 
Das Punktdiagramm der Elektronenbeugung ist eine maßstabgetreue Abbildung eines 
annähernd ebenen Schnittes durch das reziproke Gitter der Probe senkrecht zum Primär- 
strahl P ? bis 4. Wegen der Dünnheit der für die Elektronen transparenten Präparate entarten 
die reziproken Gitterpunkte zu Stäben parallel P. Dies hat zur Folge, daß eine Verkippung 
der Probe um z. B. 5° oftmals noch denselben Schnittpunkt des reziproken Gitterstabes mit 
der Ewaldkugel ergibt, d. h. der Beugungspunkt auf der Platte unverändert bleibt*. Hierauf 
beruht also die prinzipielle Ungenauigkeit bei der Orientierungsbestimmung aus Punkt- 
diagrammen. Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, bei gewissen Voraussetzungen die 
Genauigkeit z. T. erheblich zu verbessern: 
2.1. Kikuchi-Linien 
Im Gegensatz zum Punktdiagramm liefern Kikuchi-Linien eine um eine Größenordnung 
bessere Genauigkeit, die oft nur durch die zumeist graphischen Auswerteverfahren (stereo- 
graphische Projektion) begrenzt ist, nämlich besser als + 1/29. Das System der Kikuchi- 
Linien ist als starr mit dem Kristallgitter verbunden vorzustellen. Eine kleine Verkippung der 
Probe um den Winkel e äußert sich deshalb als Parallelverschiebung der Linien auf dem 
Leuchtschirm um den Vektor ä, wobei gilt: 
e= 3 /L 
(4) 
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