GERATETECHNISCHE VORAUSSETZUNGEN 
Im Gegensatz zu TEM und PhEEM, wo das Filmmaterial direkt durch die einfallenden 
Elektronen belichtet wird, wird im REM ein synchron mit der Probe gerasterter Bild- 
schirm photographiert. Eine solche Abbildung ist u.a. mit den Ablenkfehlern der 
Bildröhre behaftet. Die Abweichungen der Punkte eines Gitters von den idealen Lagen 
zeigt Bild 1.Die maximalen Abweichungen an den Bildrändern erreichen beim hier 
SL = A a 
inina 
poor 
t the ro . a : 2 % 
5 um 
fren 
Bild 1: Durch Ablenkungsfehler verursachte Bildverzerrung im REM. 
Bs Die Abweichung der Punkte eines Testgitters (Objektmikro— 
$ can meter) von ihren Soll-Lagen ist 3 -fach überhöht darge- 
stellt (gestricheltes Gitter) 
verwendeten Mikroskop (Baujahr 1973) etwa 10 %. Deshalb wurde für Gefügeanalysen 
nur der im Bild 1 eingerahmte Bereich verwendet, der 60 % der Negativflächen umfaßt. 
RET Innerhalb dieses Bereiches sind die Ablenkfehler iiberall kleiner als 5 %. 
rischen 
yeh KONTRAST 
Der Kontrast in einem Gefligebild ist durch den relativen Unterschied in den Grau- 
tönen zwischen den verschiedenen Karbidphasen und der Matrix gegeben. Die Sekundär- 
ide elektronen-Ausbeute der einzelnen Karbidphasen ist durch ihre mittlere Ordnungs- 
jeder- zahl (Z) bestimmt.) 
ild- 
lie Wie schon früher dargelegt?+3>4), brinat die Abbildung glatter (nicht reliefge- 
ätzter)Metalloberflächen im REM mittels Sekundärelektronen (SE) zwar die nötige 
Auflösung, jedoch zeigen bei Schnellarbeitsstählen die MC-Carbide meistens so ge- 
ringe Kontrastunterschiede, daß eine auantitative Auswertung kaum möglich ist. 
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