gu 
Bio. Kontrastveridnderung durch Polierfliissigkeit 
(rechter Bildteil; linker mittlerer Bildteil 
durch Kontaminations-Schicht von einer vorhergehenden 
REM-Abbildung geschützt), siehe das MC-Teilchen in Bildmitte 
Bil 
MC-Phase ist am stärksten nach einer Einwirkungszeit von 15 min. und nimmt dann 
wieder ab. Daß es sich dabei um eine Reaktion der Probenoberfläche mit der Polier- 
flüssigkeit handelt, zeigt die Beobachtung, daß bei Proben, die nach REM-Abbilduna 
der Polierflüssigkeit ausgesetzt werden, der Kontrast nur dort verändert wird, wo ZUS 
die Oberfläche nicht von der bei der ersten Abbildung erzeugten Kontaminations- 
schicht bedeckt ist (Bild 9). Die 
Mate 
Die geringfügigen Kontrastverbesserungen beim Kontakt der Probe mit Tixoband-Kleber Ober 
und Polierflüssigkeit führten zu dem Gedanken, daß vielleicht durch dünne Halb- ände 
leiterschichten generell eine Beeinflussung des REM-Kontrastes erzielt werden Maty 
könnte. In der Tat ergab Beschichtung mit ZnSe - vor allem im Dickenbereich 
50 - 80 nm, bei Strahlspannungen um 15 kV - eine markante Kontraststeigerung fiir Für 
MC ohne Beeinträchtigung des Kontrastes der anderen Phasen. Ähnliche Kontrastver- werd 
besserung wurde mit dünnen Aufdampfschichten von Ge erhalten. Mit der ZnSe-Methode größ 
ließen sich auch Legierungen, die sonst für die REM-Bildanalyse völlig ungeeiagneten 
Kontrast zeigen, brauchbar abbilden. DANK 
Dies 
Uste 
Uste 
7d 9. 
98