len Der Wunsch, die Temperaturbelastung fiir das Werkstlick herabzusetzen, fiihrte zu dem 
PVD-Verfahren (Physical Vapour Diposition). Die Abscheidung erfolgt mittels Bedamp- 
chs~ fen, Zerstduben oder Ionenplattieren. Die Temperaturbelastung liegt < 600°C, den- 
noch sind die durch diese Verfahren erzielten Schichthaftungen hoher durch die hohe- 
re Implantationsenergie der sich abscheidenden Ionen. 
Die Hauptschichtwerkstoffe sind: TiN, TiC, Ti(C,N), VC, Cr3C3, WC, Fe„B und A1,03. 
(rd. 2000 HV). Es wurde aber auch das Beschichten mit Feststoffschmierstoffschichten 
eingeführt: MoS, , WSe,, BN ox und PFE, 
Die technologische Anwendung reicht vom mit TiN dekorativ golden beschichteten Uhr- 
gehduse, das auch Schlagbeanspruchungen und Abrasion ausgesetzt ist, bis zu den Wen- 
deschneidplatten der spanenden Fertigungsverfahren, von denen heute weltweit schon 
rund 80% mit CVD-/PVD-Beschichtungen eingesetzt werden. Die Streufshigkeit des CVD- 
Prozesses gestattet dariiber hinaus die Innenbeschichtung von Ziehwerkzeugen /27, 31, 
32/. 
Die Aufgabenstellung metallographischer Untersuchungen dieser Schichten konzentriert 
sich auf die Punkte: 
J um, - Oberfldchenbeschaffenheit 
- Aufbau, Struktur 
B - Haftfestigkeit, RiBbildung 
Abb. 24 zeigt eine mit dem CVD-Verfahren abgeschiedene Chromcarbidschicht auf einem 
Schnellarbeitsstahl nach einem Gewaltbruch, aus dem sich Rückschlüsse auf die Haft- 
festigkeit ziehen lassen. Aus Abb.25 ist die typisch stengelige Struktur nach PVD- 
Abscheidung am Beispiel einer A1,05-Schicht wiedergegeben, wohingegen Abb.26 eine 
die TiN-PVD-Schicht mit giinstigerem Schichtaufbau zeigt. 
fah- 
Gas- 
n seit 
pti- 
für 
30/. 
Abb. 24: CVD-Chromcarbidschicht auf 
einem Schnellarbeitsstahl mit schlechter 
durch Haftung, Gewaltbruch 
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193