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Abb. 25: PVD-A1,03-Schicht mit Stengel- Abb. 26: PVD-TiN-Schicht mit giinstiger 
struktur, Gewaltbruch Struktur auf Hartmetall, Gewaltbruch/33/ 
5.  Untersuchungsmethoden 
Die Beschaffenheit von Schichtoberflächen 1äßt sich über Rauheitsmessungen erfassen. 
Die Meßmethoden und Auswertungsverfahren sind in folgenden Normen erfaßt: 
DIN 4760 ff., ISO/DIS 468-1980 und GOST 2789-73 /34/. Meist wird jedoch einer Beur- 
teilung mit dem Rasterelektronenmikroskop der Vorzug gegeben, mindestens wird sie 
aber den gemessenen Rauhtiefenwerten zur Seite gestellt. 
Die Erfassung der Schichtdicke kann mit den Wirbelstromverfahren (DIN 50984), dem 6. 
magnetischen Meßverfahren (DIN 50981), oder durch elektrolytisches Ablösen (DIN 
50955) bzw. Auswiegen der Schicht oder des Restkörpers und durch Ausmessen am metal- Es ex 
lographischen Schliff erfolgen /35/. Das metallographische Verfahren wird in Zwei- che E 
felsfdllen als Schiedsverfahren anerkannt. Es gestattet dariiber hinaus das Erfassen WEISE 
der Schichtstruktur und von Unregelmäßigkeiten wie Poren und Einschüssen sowie eine ergib 
Beurteilung der Fligezone bis in den Grundwerkstoff hinein. front 
der E 
Bei den Verfahren zur Beurteilung der Haftung bietet sich ein auBerordentlich unein- 
heitliches Bild. Einerseits finden Verfahren der Blechpriifung Anwendung, wie Erich- 
sen-Tiefung und Dornbiegeversuch (DIN 59413), andererseits werden die subjektiv zu 
beurteilenden Ritz- und Gitterschnittverfahren durchgefiihrt. Standardisierte Ritz- 
versuche lassen sich jedoch auch semi-quantitativ mit dem REM auswerten /36/, wozu 
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