den maximalen Wert K = 1 an. Die Konsequenz wäre, sofern sich die optischen 
Konstanten der einzelnen Phasen nicht gravierend voneinander unterscheiden, ein 
lurch zwar sehr dunkles, aber extrem kontrastreiches Bild. 
lg Um die völlige Reduzierung des Reflexionsvermögens einer Phase zu erreichen, muß 
durch eine geeignete Maßnahme der Bereich mit der R = 0 - Kurve bis zu den ein- 
;hungs- gezeichneten Symbolen, die hochreflektierende Fe- bzw. Ni-Basislegierungen repräsen- 
tieren, "angehoben" werden. Erreicht wird dies durch das Aufbringen absorbierender 
| Schichten, (z.B. durch reaktives Sputtern mit einer Bleikathode /3/. Das ist im 
nes rechten Diagramm dargestellt. Die durch das Dreieck charakterisierte Phase wird 
gen nun völlig ausgelöscht. Somit besteht zwischen ihr und der zweiten Phase (Raute) 
Jer der maximal mogliche Kontrast K = 1. 
eine Es soll hier darauf hingewiesen werden, daß dieser rein rechnerisch ermittelte 
- hier Kontrast K = 1 in der Praxis nicht erzielt werden kann. Ein wesentlicher Grund 
hierfür ist die endliche Bandbreite der optischen Filter bzw. Monochromatoren. Bei 
- der Betrachtung der drei kp-Np-Diagramme (unbeschichtete, absorptionsfrei beschichtete, 
im absorbierend beschichtete Probe) ist zu erkennen, daß benachbarte Linien konstanten 
xions- Reflexionsvermogens (von links nach rechts) immer dichter zusammenriicken. Da der 
ver- Kontrast für auf jeweils benachbarten Linien liegende Phasen den konstanten Wert 
zh- 0,66 besitzt, ist zu ersehen, daß insbesondere bei Verwendung absorbierender 
an Schichten zwei Phasen auch dann noch kontrastreich getrennt werden können, wenn 
sie sich nur unwesentlich in ihren optischen Konstanten unterscheiden. 
hen 
nter- 
chtete 3. Bestimmung optischer Konstanten 
Um optimale Kontrastbedingungen für einen beliebigen mehrphasigen Werkstoff ein- 
die stellen zu können, ist die genaue Kenntnis der optischen Konstanten des inter- 
g= ferierenden Systems erforderlich, d.h. die der metallischen Legierungen einerseits 
chbare und diejenigen der in frage kommenden Schichtmaterialien andererseits. Die im 
eieck folgenden beschriebenen Verfahren gestatten, ohne einen sehr großen experimentellen 
ihr Aufwand (d.h. lediglich durch Einsatz eines Auflicht-Mikroskop-Photometers) die 
Der optischen Konstanten mit hinreichender Genauigkeit zu ermitteln. 
3.1 Optische Konstanten der Legierung 
len 
Die Bestimmung optischer Konstanten an den Legierungen, genauer: an den einzelnen 
d.h. Phasen eines Werkstoffes, ist in der Literatur ausführlich beschrieben. Hier wurde 
Phasen ein Verfahren gewählt, bei dem zunächst das Reflexionsvermögen einer Phase im unbe- 
schichteten Zustand, in einem zweiten Schritt bei ZnS-Beschichtung im Interferenz- 
71