er Fiir stark absorbierende Schichten hingegen (ky; > 0,3) ist dieses Verfahren bei Ver-
rp- wendung eines metallischen Trägers nur bedingt tauglich. Abb. 4 zeigt die optischen
Konstanten von aufgesputtertem Eisenoxid - im rechten Diagramm ist der Absorptions-
koeffizient der Schicht k, in Abhängigkeit von der Lichtwellenlänge A aufgetragen,
im linken der Brechungsindex n„+ Die jeweils höheren k,- bzw. n,-Werte (obere
Kurve) ergeben sich bei Verwendung eines Glastradgers. Die k,-Werte fallen von 0,35
auf etwa 0,1 im Wellenldngenbereich von 500 nm bis 600 nm ab. Sie stimmen sehr gut
jel mit den in der Literatur angegebenen Daten iiberein, bei deren Bestimmung ebenfalls
iv Glasträger eingesetzt wurden. Bei Verwendung des Werkstoffs X 5 Cr Ni 18 8 als
nehmen Träger hingegen findet man niedrigere optische Konstanten, insbesondere die Absorp-
tionskoeffizienten sind um einen Faktor 2 kleiner.
immung Dieser Effekt wird durch den Einfluß des Trägers hervorgerufen. Insbesondere beein-
hicht fluBt die Trdgertemperatur beim SputterprozeB (niedrige Warmeleitfahigkeit des
chen Glases - hohe Warmeleitfahigkeit des Stahls) die Struktur und damit die optischen
be- Eigenschaften der Schicht. So konnten die auf Stahl ermittelten Werte auf ge-
Ver- kühlten Glasträgern bestätigt werden.
er- Anhand der Abb. 4 soll auf einen weiteren Aspekt hingewiesen werden: bei einem
das nahezu wellenlängenunabhängigen Brechungsindex besitzt Eisenoxid einen stark
en wellenldngenabhangigen Absorptionskoeffizienten k, - allein im mittleren sicht-
achte baren Wellenldngenbereich von 500 nm bis 600 nm nimmt k, von 0.35 auf 0.1 bzw. von
eiden 0.15 auf 0.04 ab. Dieser Effekt kann bei der Einstellung der optimalen Kontrast-
und k, bedingungen genutzt werden.
und 4. Anwendung auf hochreflektierende Legierungen
tischen
st in Abb. 5 zeigt in der bereits bei Abb. 1 gewählten Darstellungsart (kp über np) die
m maximal erreichbare Verminderung des Reflexionsvermdgens durch Aufbringen einer
nsver- interferierenden Eisenoxid-Schicht O-ter Ordnung - links fiir eine Wellenlänge von
‚istungs- A= 500 nm, rechts für A= 600 nm. Ebenfalls eingezeichnet sind die optischen
Von Konstanten der Legierung HASTELLOY X mit ihren Carbiden; so kann das Reflexionsver-
mögen der HASTELLOY X - Matrix im günstigsten Falle, d.h. bei Erreichen des Inter-
ferenzminimums bis auf weniger als 0,1 % reduziert werden (roter Bereich). Die
beiden Carbide erscheinen mit höherem Reflexionsvermögen und werden daher heller
(Rc 0,5 % und os 0,3 %) und damit kontrastreich gegeniiber der Matrix
abgebildet. Die maximalen Kontrastbedingungen sind jedoch dann erfüllt, wenn die
Kurve R = 0 (d.h. die strichpunktierte Linie) das Symbol einer von zwei optisch zu
trennenden Phasen schneidet. Im linken Diagramm, d.h. bei einer Wellenlänge von
500 nm, wurde eine Eisenoxidschicht mit einem Absorptionskoeffizienten von
kz = 0,35 zugrunde gelegt - mit zunehmender Wellenlänge jedoch nimmt k, ab, so daB
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