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Abb. 4: Aufldsungsverbesserung durch Farbidtzung im Riickstreuelektro- 
nen-Bild bei 5400-facher REM-Vergr&Berung. 
Neben der lateralen Auflösung spielt auch die Informationstiefe 
des Streuvolumens /8/ eine entscheidende Rolle, da hierdurch Teilchen 
DENT unter der Oberfläche mit erfaßt werden, bzw. Teilchen mit zur Schliff- 
a oberfläche geneigt verlaufenden Grenzflächen zu groß erscheinen. Abb.1 
zeigt einige solche besonders unscharfe Strukturen, die dadurch ent- 
standen sind, daß man etwa 1 um tief in die Aluminium-Matrix "hinein- 
Rück- sehen" kann. In Abb. 3 sind solche Fehlinformationen nicht enthalten, 
e, da das Molybdänoxid sich nur an der Silizium-Oberfläche anlagert und 
ert. wegen seiner dreifach höheren Ausbeute die störende Silizium-Informa- 
n tion überlagert. Bei der praktischen Anwendung dieses Verfahrens konn- 
inium ten aufgrund der Kontrast- und Auflösungsverbesserung quantitative me- 
en tallographische Messungen bei 5400-facher Vergrößerung gemacht werden. 
Gefügebestandteile unter 0,5 um waren jedoch hier nicht mehr meßbar. 
tan. Für die Abbildung kleinerer Teilchen sind Rückstreuelektronen prinzi- 
„fach piell nicht geeignet, so daß wir hier zu anderen Abbildungsarten über- 
gehen mußten. 
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