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Abb. 6: Unterschiedliche Mikrorauhigkeit auf der Aluminium- und Si-
liziumoberflédche bei 6000-facher REM-VergrdBerung.
Da eine solche Mikrorauhigkeit großen Einfluß auf die Sekundidrelektro-
nenausbeute einer Oberfläche ausübt /9/, liegt die Vermutung nahe, daß
die inverse Kontrastverstärkung in Abb. 5 auf unterschiedliche Ober-
flächenrauhigkeiten von Aluminium und Silizium zurückzuführen ist. Um
diese Hypothese zu unterstützen, wurde in verschiedenen Experimenten
diese Mikrorauhigkeit entweder durch selektives Ätzen abgetragen oder
durch Belegen mit Oberflächenschichten zugedeckt.
Abtragen_der_Mikrorauhigkeit: Abb. 7 zeigt beide Phasen ohne Mikro-
rauhigkeit. Hierbei wurde eine 2 um dicke Aluminiumlage elektrolytisch
abgetragen, die Siliziumkristalle blieben unbeeinflußt. Die Abtragungs-
tiefe wurde an Stereobildpaaren im Stereometer vermessen, um zu gewähr-
ıdär- leisten, daß keine wesentlichen Kontrastverschiebungen durch das unter-
2 schiedliche Niveau von Aluminium und Silizium auftreten. Deutlich wird
erkennbar, daß die Helligkeit der beiden Phasen gemäß ihres geringen
Ordnungszahlunterschieds fast identisch ist. Die Helligkeit der unver-
änderten Siliziumphase bleibt konstant, während die Aluminiumphase
hier ihre Mikrorauhigkeit verloren hat und daher dunkler erscheint als
vorhe-.
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