1)Manuelle Schliffpräparation von Querschliffen 
Tabelle 1 Unter” 
Schleifen* Schmi€ 
Unterlagen SiC-Papier Belas! 
Korngröße 220 320 400 500 800 1200 
Schmiermittel Wasser elt 
Zeit /min 3 3 3 3 3 3 
Tabelle 2 Ger} 
Chemisches Polieren* Die Vc 
1 2 3 pl 
Unterlagen DUR DUR OP~CHEM nit Le 
Korngröße 6um 3um auf €! 
Schmiermittel Lubricant blau OP-S-Suspension LACOM 
Geschwindigkeit 300 U/min V2A-B 
Zeit /min 3 3 1 
Tate. 
Zur Verbesserung der Schliffgiite sind die Proben zwischen den 
einzelnen Polierstufen in einer Lésung aus HNO, /CHzCOOH/HF polie 
(3:2:2) zwischenzuätzen /4/. Elekt: 
*Rascherstarrte Siliziumbänder sind sehr spröde und neigen beim Spann 
Schleifen bzw. Polieren unter Druck verstärkt zu Rissen. Die Ver- Strom: 
meidung der Risse kann durch nahezu druckloses Präparieren erfol- Flowr 
gen. Zeit 
2)Automatische Präparation für Einzelproben Die 7 
Gerit:MINIMET® (Fa. BUEHLER MET) helle 
Tabelle 3 
Schleifen 
1 2 3 4 5 
Unterlagen SiC-Papier 
Korngröße 180 240 320 400 600 
Schmiermittel Wasser 
Geschwindigkeit 4 4 4 4 4 
Belastung 1/2 konstant 
Zeit/min bis 5 5 5 5 
plan 
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990) 
182