Polieren 
1 2 3 4 
Unterlagen TEXMET MICROCLOTH 
KorngroBe 15um 6um 3um lum 
Schmiermittel LUBRICANT blau 
Geschwindigkeit 4 4 4 4 
Belastung Vollast kon- ?1/, konstant 
stant 
Zeit/min 10 5 5 5-10 
3)Elektrolytisches Polieren an Bandoberflächen 
Gerät: POLECTROL®” (Fa. STRUERS) 
Die Vorbedingung beim elektrolytischen Polieren der spröden Sili- 
ziumbandoberflächen ist, daß die ca, 20mm langen Bandabschnitte 
mit Leitsilber oder Zweikomponentenleitkleber (Fa. DEMETRON) 
auf einem V2A-Blech kontaktiert sind. Mit einem sdurefesten Lack 
(LACOMIT VARNISH, Fa. AGAR AIDS) sind die Spalten zwischen dem 
V2A-Blech und dem Siliziumband abgedichtet (Fig 3). 
Tabelle 4 
Polierdaten: 
Elektrolyt: 5%ige wässrige FluBsdure 
Bereich (cm?): 1 
ı bein Spannung (V): 60 
he Ver- Stromstärke (A): 2,5...3 
v erfol- Flowrate: 3?*/2 
Zeit (sec): 40 
Die Zusammensetzung der Ätzmittel sind in der nachfolgenden Ta- 
belle angegeben. 
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990) 
187%