In zunehmendem Maße wird heute versucht, außer der Feinkornverfestigung auch
Umwandlungshärtung durch Legieren oder beschleunigte Abkühlung sowie Ausschei-
dungshärtung zur Festigkeitssteigerung zu nutzen. Durch eine geeignete Tempera-
turführung wird im tieferen Temperaturbereich (500° - 600°C) eine große Zahl von
feinsten Teilchen ausgeschieden, welche im Größenbereich von Nanometern liegen und
daher mit dem STEM nicht mehr analysiert werden können. Um Zahl, Größe und Zu-
sammensetzung dieser Mikroausscheidungen in thermomechanisch behandelten mikro- +
legierten Stählen erfassen zu können, wurde in dieser Arbeit eine Untersuchungs-
methode mittels Feldionenmikroskop (FIM) und Atomsonde (AS) herangezogen. %
PRINZIP UND ARBEITSWEISE VON FELDIONENMIKROSKOP UND ATOMSONDE LEE
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7 ; Computer | Abb. 1: Schema von FIM und * Die Zara
Atomsonde, aus 3) Ce
Eine nadelférmige Probe (Spitzenradius unter 50 nm) wird meist über eine Schleuse
in die Ultrahochvakuumkammer (10% - 107? Torr) eingeführt und auf einem dreh-
baren Probenhalter befestigt (Abb. 1). Die Probe wird sodann auf eine tiefe
Temperatur (30 K - 100 K) gebracht und eine positive Spannung angelegt. Zur Bild-
entstehung wird eine geringe Menge (* 107° Torr) eines Bildgases - für die nicht-
refraktären Elemente Neon - benötigt. Das Bildgas wird zunächst polarisiert, die
Neonatome unmittelbar vor der Spitze bei einer gewissen, vom Spitzenradius abhän-
gigen, Spannung ionisiert und auf dem Phosphorschirm verstärkt abgebildet,
wodurch ein hoch auflösendes Bild der Probenoberfläche entsteht. Die Vergrößerung
ist proportional dem Abstand zwischen Probe und Bildschirm und umgekehrt propor-
tional dem Spitzenradius, was typische Werte im Millionenbereich ergibt. Bei einer
bestimmten Spannung stellt sich in der Probe ein stationärer Zustand ein, der durch
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990)
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