Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 87
Vergleichende Untersuchung von Priparationstechniken zur
Herstellung EBSD-fähiger Stahlproben
3% Melanie Keil, Ruth Harscheidt, Alexander Schwedt, Alexander Heif3, Martina Schiffers,
Gemeinschaftslabor fiir Elektronenmikroskopie (GFE), RWTH Aachen
1 Einleitung
Die Möglichkeit, im Rasterelektronenmikroskop (REM) Beugungsstrukturen in der Verteilung der
| rückgestreuten Elektronen zu vermessen (Elektronenrückstreubeugung, EBSD), ermöglicht eine
a Vielzahl qualitativer und quantitativer Aussagen über den untersuchten Werkstoff, z.B. über Anteil
;a:4V,20s in und Verteilung unterschiedlicher kristallographischer Phasen in der Probe, Orientierungs-
NaOH beziehungen zwischen benachbarten Körnern, Deformationen innerhalb der Körner, usw. Da die
gemessenen Beugungsstrukturen ihren Ursprung aber in wenigen Nanometern Tiefe unterhalb der
Probenoberfläche haben, stellt diese Messmethode enorme Ansprüche an die metallographische
Präparation der Proben: So wird in der Regel eine ebene Oberfläche benötigt, da die Messung unter
70° Kippung der Probe erfolgt, und Unebenheiten direkt mit Abschattungen der Umgebung
verbunden sind. Zum anderen muss die präparierte Oberfläche bis in die obersten Nanometer frei
von durch die Präparation eingebrachten Deformationen sein. Schließlich darf die Präparation den
Phasenbestand der Probe an der erzeugten Oberfläche nicht ändern.
Unter diesen Aspekten wurden die Präparationsmöglichkeiten, die am GFE zur Präparation EBSD-
fähiger Proben zur Verfügung stehen, verglichen. Als Probenmaterial diente ein Blech eines TRIP
700 - Stahls von Arcelor Mittal, der im Wesentlichen aus Ferrit mit ca. 14% Restaustenit (nach
Röntgenbeugungs-Messungen) als Zweitphase besteht und innerhalb des RFCS-Projekts
„MicroQuant“ ausgiebig vermessen wurde [1].
um,
2 Präparationsmethoden
Manuelle Politur ist die übliche metallographische Präparationsweise mit rotierenden Scheiben
und händischem Druckaufbau. Hier wurde bis 4000er SiC-Papier (FEPA-Norm) geschliffen,
anschließend mit Diamantsuspensionen auf alkoholischer Basis auf mittelhartem Naturfasertuch mit
ni 3um ca. 5min, auf gewobenem Baumwolltuch mit lpm ca. 4min und auf florigem Synthetiktuch
i mit Tonerde + dest. H,O ca. 1min poliert. (Abb. 1)
Halbautomatische Politur ist die Präparation mit einem Schleif- und Poliergerät auf rotierenden
Scheiben und automatisiertem Druckaufbau. In diesem Fall wurde eine Phoenix 4000 der Firma
Bühler benutzt. Die Probe wurde bis 4000er SiC-Papier (FEPA-Norm) geschliffen und danach mit
Diamantsuspensionen auf alkoholischer Basis auf mittelhartem Naturfasertuch mit 3 um ca. 6min,
auf gewobenem Baumwolltuch mit 1um ca. 5min und auf florigem Synthetiktuch mit Tonerde +
dest. H,O ca. 2min poliert.
he Aufnahme nach
I: d: Erscheinungs-
