Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 89
erbei versetzt
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} unter einem
g (Elektrolyt)
ierlosung löst Abb. 1: Erscheinungsform der unterschiedlich préparierten Proben im Lichtmikrosko : i
: p (v.o.lLn.ur.): lle Politur.
len gesättigte Vibromet nach 15min, Elektrolytisch (nach 1pm), CSP-Graben ( Originalvergrößerung jeweils S000) manele Tot
1spitzen rasch
nur langsam; .
entsteht eine 3 EBSD-Ergebnisse
und 40% HF- An den so präparierten Proben wurden EBSD-Messungen (REM: JEOL 7000F, EBSD-Detektor:
EDAX-TSL Digi View III, Software: OIM DataCollection/Analysis 5.2) an Flächen von 50um x
150um mit einem Punktabstand von 100nm durchgeführt. Bei der FIB-Probe lag man damit schon
risch leitende deutlich in dem Bereich mit extrem faltiger Oberfléchenstruktur (Curtaining-Effekt).
bewegen sich Als ein Beispiel für die EBSD-Ergebnisse sind in Abb. 2 sogenannte Image Quality Maps
gt der Abtrag dargestellt. An jedem Punkt im Messfeld wurde ein Beugungsbild aufgenommen, daraus der Image
on Ende eine Quality Parameter (IQ) bestimmt, und schlieBlich als Graustufe im Bild dargestellt. Die Image
ervorgerufenc Quality ist ein Maß für den Kontrast im aufgenommenen Beugungsbild. Je kontrastreicher das
eugungsbild, umso ungestörter ist das lokale Kristallgitter. Der Parameter eignet sich damit sehr
(Abb. 1), b) gut, um Korngrenzen abzubilden, aber auch um Phasen zu unterscheiden, die anhand der
tionspolieren. Coenbreite und relativen Lage der Linien im Beugungsbild nicht direkt unterschieden werden
en der Firma onnen. z.B. Ferrit und Martensit.
e mit 15s, die
vethoden.