6 Prakt. Met. Sonderband 41 (2009)
die Schichtdicke s bestimmt werden. Da die Formel unübersichtlich ist, wird zumeist die Nährungs-
formel s = x * y * f benutzt. Der Fehler gegenüber der genauen Formel wird mit <0,1% angegeben.
Dabei ist x ist der Abstand zwischen dem inneren und äußeren Kreisdurchmesser der Kalotte, y die
Summe aus x und d (Durchmesser des inneren Kreises der Kalotte) und f ist der Umrechnungsfak-
tor (f= 1000/2 ° r ® V2), der den Radius r der Schleifkugel und die Vergrößerung V des Mikroskops
berücksichtigt. Wichtig beim Vermessen der eingeschliffenen Kalotte ist, dass das Mikroskop ge-
eicht ist. Dadurch werden zusätzliche Fehlerfaktoren durch eine fehlerhafte Angabe der Mikroskop- “Bewertung: R
vergroBerung vermieden. Die Nährungsformel eignet sich besonders zur Schichtdickenermittlung deutliche Beet:
von Schliffbildern zylindrischer Proben.
Tabelle 1: Haft
Weitere Parameter im Kalottenschliff sind die Kornfraktion der Diamantemulsion, die Schleifdauer,
der Kippwinkel der Probe und die Umdrehungsgeschwindigkeit der Kugel. Über eine flexibel ju-
stierbare Werkzeughalterung wird das Einspannen der Substrate in einem beliebigen Winkel zur 2.3 Scratchte
Stahlkugel ermöglicht (s. Bild 4). Die Schleifzeit lässt sich in diskreten Schritten einstellen. Auch Der Ritztest
die Probenrauigkeit ist ein entscheidender Parameter beim Kalottenschliff. Um gute Resultate si- Schicht-Substra
cherzustellen, sollte die Oberflächenrauigkeit kleiner als ein Zehntel der Schichtdicke betragen. karbid oder Di
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Bild 3: Kalottenschliffgerät und Versuchsaufbau
Anhand des Schliffbildes der Kalotte kann die Haftfestigkeit bewertet werden. Kriterien sind hier ser
Defekte am Schicht-Substratiibergang (Interfacebereich) bzw. am Schicht-Schichtiibergang. Tabelle =H
1 zeigt die hierfür zugrunde liegenden Bewertungsmerkmale.
Sample
Bild 4: Prinzip
Wie bereits er
Bewertung: gut (1) Bewertung: ausreichend (2) N SCHERE
ohne Befund geringe Beeinflussung sagen drückt Si
aus. In Bild 5
beim Scratchte:
sollte nicht übe
