Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 9
n, um Beein- Kohlenstoff, bedampft. Die Schichtdicke des Bedampfungsmaterials liegt dabei in der GréBenord-
sfaktoren auf nung einiger nm.
r Scratchtest-
unde handelt.
rauigkeit von
Bild 6: Beispiel einer REM Aufnahme einer Bruchstruktur
3 Weiterfithrende Charakterisierung
3.1 Energiedispersive (EDX) Rontgenspektroskopie - Charakterisierung der chemischen
Zusammensetzung
Unter energiedispersiver Roéntgenspektroskopie wird eine Elektronenstrahlanalyse verstanden, die
zur qualitativen und quantitativen Bestimmung von Elementkonzentrationen in Mikrovolumina von
Festkorpern dient. Aufgrund des kleinen untersuchten Volumens kénnen auch geringe absolute
Stoffmengen nachgewiesen werden. Jedoch ist die Bestimmung von Spurenkonzentrationen nicht
möglich [7]. Beim energiedispersiven Verfahren (EDX) wird iiber den Energieinhalt der Rontgen-
strahlung auf das Element geschlossen. Dazu wird ein Si(Li) Detektor benutzt (s. Bild 7), der aus
einem Si Einkristall mit p-i-n Übergang besteht. Die einfallende Röntgenstrahlung erzeugt in der
eigenleitenden Zone proportional zu ihrer Energie Elektronen-Loch-Paare, die gesammelt und ver-
iruchstruk- stirkt werden. Uber computerunterstiitzte Verfahren kann so auf die Elemente geschlossen werden.
Vorteil des EDX-Verfahrens ist, dass alle Spektrallinien gleichzeitig ausgewertet werden konnen.
i Nachteilig ist das mit diesem Verfahren nicht alle Elemente nachgewiesen werden können. Leichte
1m Vakuum. Elemente mit einer Ordnungszahl kleiner 11 (H, N, O, C) und Edelgase werden nicht detektiert [8].
node hn be” Es gibt drei verschiedene Methoden, die angewandt werden. Der Spot-Scan beschränkt sich auf
crilache der einen lokalen Bereich wie z.B. Ausscheidungen, Einschliisse Poren, usw.. Dabei wird die Element-
ber die Ober- verteilung der vorhandenen Elemente festgestellt. Damit können Ausscheidungen, wie z.B. chrom-
ner Bildröhre reiche Teilchen aufgrund ihres erhöhten Cr-Gehalts, detektiert werden (s. Bild 7). Mit dem Line-
. In der Probe Scan wird entlang einer vorgegebenen Linie der Verlauf der Elementverteilung vorher festgelegter
mmensetzung Elemente festgestellt. Damit kann z.B. eine lokale Chromverarmung an den Korngrenzen detektiert
), Rückstreu- werden. Mit dem Mapping wird auf einem vorgegebenen Flächenbereich die Konzentrationsände-
3 des Elektro- rung der Elementverteilung der zu untersuchenden Elemente festgestellt. Damit kann z.B. eine ten-
tiert, sondern denzielle Chromverarmuns an den Kornsrenzen detektiert werden
Atomverband
nen das dazu-
Elektron aus
genannt. Für
essen. Dieser
t entsteht auf
ven elektrisch
B. Gold oder Bild 7: EDX-Detektor zur quantitativen Elementanalyse im REM-Strahlengang [9]
