80 Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 
5 Zerstorungsfreie Untersuchung mit Computertomographie Vergleic 
elektron 
Bei geeigneter Probengröße und unter Beachtung spezieller Randbedingungen ist es möglich, 
MEMS mit Methoden der hochauflösenden Computertomographie auch zerstörungsfrei zu untersu- . 
chen. Die Abbildungen in Bild 9 zeigen in räumlicher Darstellung Ausschnitte aus einem Translati- Katharina S 
onselement eines in Siliziumtechnologie hergestellten MEMS. Mit einer lateralen Auflösung kleiner *Department ! 
1 um sind in beliebigen virtuellen Schnitten die Anordnung und die Geometrie der einzelnen Struk- 
turelemente und insbesondere ihr Zusammenwirken darstellbar. Wegen des geringen Absorbtions- 
verhalten von Silizium bei der Röntgendurchstrahlung, sind jedoch nur MEMS auf Chipebene ein- 
deutig auswertbar. Bei gehausten MEMS-Baugruppen ist das Silizium nur schwer bzw. nicht von K , 
S Co : urzfassi 
den Gehäusematerialien zu unterscheiden. 
In vielen Be 
Nickel basic 
Duplex Stäh 
tionsverfahre 
Parameter v: 
stellt und ver 
im Lichtmik 
(EBSD) zuli 
tens Präparat 
geentwicklur 
Bild 9: Virtuelle Schnitte durch das Volumen einer mit hochauflösender Computertomographie abgebildeten MEMS- 
Struktur. 
1 Einle 
6 Zusammenfassung 
Korrosionsbe 
Metallographische Untersuchungen sind ein wichtiger Bestandteil bei der Entwicklung, beim Test der Papiererz 
und bei der Untersuchung des Zuverlässigkeitsverhaltens von Komponenten der Mikrosystemtech- reichen und | 
nik. Wegen der geringen Strukturbreiten von MEMS sind bei der metallographischen Präparation halten dieser 
einige Besonderheiten zu beachten. Nickel, Moly 
Die flächige Ionenätzung ist ein wesentlicher Schritt bei der Endpräparation der Schliffe von die chemisch 
MEMS-Strukturen. Neben der Beseitigung von Bearbeitungsrandschichten wird damit eine gute Aufgrund de: 
Entwicklung von Gefügestrukturen, eine bessere Kontrastierung der unterschiedlichen Werkstoff- Nickel und N 
kombinationen im Verbund und damit eine eindeutige geometrische Strukturvermessung erreicht. Molybdänant 
Die zerstörungsfrei arbeitende hochauflösende Computertomographie ergänzt in idealer Weise die 1.4162) und 
metallographische Schliffpräparation. striezweigen 
unterschiedlic 
licht- und rası 
. In der Literat 
7 Literatur fahren oftma’ 
entwicklung 
[1] Die Untersuchungen wurden im Rahmen des Sonderforschungsbereiches 379 , Mikromechani- der Literatur 
sche Sensor- und Aktorarrays* an der Technischen Universitit Chemnitz durchgeführt; nierung eines 
Abschlußbericht 2007 nenmikrosko: