In einem zweiten Teil sollte durch eine Wärmebehandlung die Qualität der Beryllium-Einkristalle nachträg- der V, 
lich beeinflußt werden. Die Probe wurde 6h getempert. Durch y-Diffraktion wurde eine verringerte De- moget 
fektdichte gemessen, welches sich in einer schmalen und relativ symmetrischen Rockingkurve ausdriickt 
(Bild 6¢). Die Peakintensitit ist erhoht gegeniiber dem Ausgangszustand (Bild 6a). Die Versetzungsanord- 
nung (Bild 8c) weist im Gegensatz zu 8a keinerlei Wandstruktur mehr auf. Die Versetzungen scheinen sta- 7 Lite 
tistisch verteilt zu sein. Die Versetzungsdichte konnte wiederum um eine Größenordnung 
(p=(2,746,0)-10°%cm™) reduziert werden. In der Paarkorrelationsfunktion deutet sich allerdings noch ein [1] 
kleines Maximum an (Bild 7). 
Bei genauer Betrachtung der Versetzungsgriibchen wird klar, daB dies vor allem eine Folge der endlichen [2] 
Ausdehnungen der Atzgriibchen ist. Wenn die Atzfiguren nicht mehr deutlich voneinander getrennt sind, 
d.h. die Dimensionen der Ätzgrübchen zu groß gegen die Abstände der Durchstoßpunkte werden, ist der [3] 
wahre kiirzeste Abstand nicht bestimmbar und die PCF wird verfilscht. Gleichzeitig wird auch die Be- 
stimmung der Versetzungsdichte ungenau, da grofe Atzgruben mehrere VersetzungsdurchstoBpunkte ent- [4] 
halten können. Eine solche Analyse gelingt demnach nur bei nicht zu großen Versetzungsdichten und/oder 
hinreichend kleinen Ätzgruben, d.h. bei Einhaltung kurzer Ätzzeiten. 
[5] 
6 Zusammenfassung [6] 
Durch die Simulation der Versetzungsstruktur konnte nachgewiesen werden, daB nicht nur die Verset- [7] 
zungsdichte die Beugungseigenschaften beeinflußt, sondern auch unterschiedliche Anordnungen von Ver- 
setzungen eine entscheidende Rolle spielen. Bei der statistischen Verteilung von Versetzungen wurde mit 
Zunahme der Versetzungsdichte eine geringere Verbreiterung der Rockingkurve beobachtet, als bei Ver- [8] 
setzungswänden. Zusätzlich verstärkte sich dieser Effekt durch Erhohung der Anzahl von UberschuBver- 
setzungen in beiden Anordnungen. Ein Vergleich von Normal- und UberschuBversetzungen macht die 19] 
starke Abhängigkeit der Halbwertsbreite von der Dichte der Überschußversetzungen deutlich. 
Durch Berechnungen von Paarkorrelationsfunktionen mit variiertem Anteil an statistisch verteilten Verset- 
zungen konnten verschiedene simulierte Zustände quantitativ beschrieben werden. Die Aussagefähigkeit 
dieser Paarkorrelationsfunktionen wurde an Versetzungsanordnungen in Beryllium-Einkristallen überprüft. 
An den real existierenden Versetzungsanordnungen konnten die Aussagen der Paarkorrelationsfunktion 
von idealisierten Anordnungen qualitativ bestätigt werden. Dabei wurden y-Diffraktionsmessungen, Ver- 
setzungsätzungen und davon Paarkorrelationsfunktionen verglichen. 
Anhand der Experimente wurde gezeigt, wie durch eine reduzierte Züchtungsgeschwindigkeit und durch 
eine nachträgliche Wärmebehandlung die Versetzungsstruktur manipulierbar ist. Durch diese Variationen 
wurde eine Annäherung der Versetzungsanordnung an eine statistische beobachtet, und eine Verringerung 
224 Prakt. Met. Sonderbd. 26 (1995)