ht, daß alle geführte metallographische Untersuchungen zeigen, daß dieser Punkt mit der Ausdehnung des
moglicht eine Porensaums übereinstimmt.
ır Verschleiß-
5. Zusammenfassung
, Es konnte gezeigt werden, daß das Mikrotribometer in der Lage ist, unterschiedliches Abrieb-
nformationen verhalten zu erfassen. Die Auswertung dieser Verläufe liefert ebenso Informationen über
der Schicht- Schichtdicken. Am Beispiel einer CVD -TiN Schicht sowie einer nitrocarburierten Probe wurde
daß einzelne die Leistungsfähigkeit gezeigt. Mit diesem Verfahren ist auch die Porensaumdicke identifizier-
ltläche eines bar. Das vorgestellte Mikrotribometer ist weiter ausbaufähig, insbesondere wenn es darum geht,
3ild 3). Diese tribologische Werkstoffcharakterisierung im mikroskopischen Bereich zu erschließen. Neben der
ragstiefe die Schichtdickenbestimmung ist je nach Kugeldurchmesser die Verschleißcharakterisierung von
zwischen der Werkstoffbereichen und Randschichten bis in den nm - Bereich möglich.
pressung ab
Schleifdauer, 6. Literatur
is schließlich | , | oo i
. 8 11/ Ban, A. et al: Schwingquarz-SchichtdickenmeBeinrichtung mit analogem System.
linearisieren, Patentschrift DE 2503395 (1975)
Eindringtiefe | . . a | |
/2/ het H.: DickenmeBvorrichtung fiir Zinnschichten. Offenlegungsschrift DE 2658357
1976)
13/ Jirovsky, I. et al: Sonde fiir ein System zum coulometrischen Messen der Dicke einer
ı Verlauf, der Metallschicht. Offenlegungsschrift DE 3151807 A1 (1981)
ng der Kurve
9 /4/ Omini, M.; Rastaldo, A.: Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Tiefe einer Oberfläche
riebverhalten eines metallischen Werkstückes. Offenlegungsschrift DE 3040926 A1 (1980)
tdicke.
/5/ Détsch, H.; Réschmann, P.; KloBner, W.: Anordnung zur Dickenmessung magnetischer,
epitaktisch hergestellter Schichten. Offenlegungsschrift DE 2718160 (1977)
U /6/ Fischer, H.: Meßverfahren für die Einzeldicken von Schichtsystemen nach dem
rgestellt. Um Wirbelstromverfahren. Offenlegungsschrift DT 2461805 (1974)
ist eine kon-
171 Steingroever, E.: Elektromagnetischer Schichtdickenmesser mit umschaltbarer
rgeschalteter MeBfrequenz. Offenlegungsschrift DT 2410047 (1974)
pension. Die a . . a | N
/8/ Nishino, E,; Kitakyushu, F.: Nadelsonde für zerstörungsfreie Metallprüfung.
nersteuerung Offenlegungsschrift DT 2610758 (1976)
lie Schleifku- | , . N
/9/ Persch, H.; Theiner, W.: Vorrichtung zur Messung von Werkstoffeigenschaften. Europäische
eingeschaltet Patentanmeldung EP 0100009 A1 (1983)
der alternativ : en | .
: /10/ Jehn, H.; Reiners, G.; Siegel, N.: Charakterisierung dinner Schichten. DIN Fachbericht 39
werden die Beuth Verlag 1993
8 Ergebnisse ; N
Bild /11/ Schulz, A.; Stock, H.-R.; Vetters, H.; Mayr, P.: Metallographie von diinnen
kann. Im Bi Hartstoffschichten. Prakt. Metallographie 27 (1990) S. 269
\ auf Ck 15)
b 112/ Kliimper-Westkamp, H. Verfahren zur Messung einer Schichtdicke und/oder tribologischen
Probenober- Eigenschaften einer Randschicht eines Werkstiicks. Deutsche Patentanmeldung (1994) P
igel sind. Die 44 34 661.1
Probe doku-
eitend durch-
Prakt. Met. Sonderbd. 26 (1995) 1437
