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ADC 
heES ESMA 
Analysenbereich Analysenbereich 
Al»O3 + ZnO here 
nn 0,01 um ratıc 
Bleiteilchen 7 ferti 
S 0,5 um . . senk 
Zinkschicht licht 
Delta-Phase 7-20 um Ricl 
<= TcHm- sprü 
Fe‚Als-Phase Schi 
0,02 um 
—— Stahlblech Hier 
che. 
Bild 1: Aufbau der feuerverzinkten Schicht ima 
Ca: 
} Fehl 
Generell gilt, daß für Beschichtungssysteme mit Schichtdicken > 1-2 um eine Mikrobereichsanalyse rech 
der einzelnen Schichten problemlos an Querschliffen durchgeführt werden. Das laterale Auflö- von 
sungsvermögen der in diesem Fall bevorzugt eingesetzten Elektronenstrahlmikrosonde (ESMA) ist 
hinreichend klein, um eine Analyse durchzuführen. Liegt jedoch die Schichtdicke unter 1 um, so 
reicht das laterale Auflösungsvermögen der ESMA und u.U. auch der Auger-Sonde (AES) nicht Kalc 
aus, um die chemische Zusammensetzung der Schichten und deren Dicke zu ermitteln. In solchen Der 
Anwendungsfällen kann durch verschiedene Schlifftechniken eine künstliche Verbreiterung der tion 
Schichten und damit eine verbesserte analytische Zugänglichkeit erreicht werden. daß 
am ] 
dick 
Schrägschliffe Lini 
Bei der Schrägschlifftechnik wird die zu untersuchende Probe unter einem flachen Winkel von < 2° 
eingebettet und nach herkömmlichen metallographischen Methoden geschliffen und poliert. Da- 
durch wird, wie in Bild 2 veranschaulicht, eine Spreizung des Schichtbereichs in Richtung der Kip- 
pung der Schlifffläche um den Faktor sin”! a (@ = Böschungswinkel) erreicht. 
rn Br 
Zn-Schicht BE 
NN N 
:  Zwischenschicht 
Stahlunterlage 
Bild 2: Geometrische Verhältnisse beim Schrägschliff. 
Für die am Schrägschliff beobachtete Schichtdicke d* gilt die Beziehung 
d* =;d/sin:@.: Bei 
Werden scheinbare Schichtdicke d* und der Böschungswinkel & gemessen, kann die Dicke d der Schle 
Zwischenschicht anhand der Beziehung abhä 
rand