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beliebigen Stelle in der Kalotte ein Tiefenprofil mittels AES aufgenommen, so kann für jede Meß- nen
stelle in der Kalotte die Tiefe Z unter der ursprünglichen Oberfläche berechnet werden. Für die so
Tiefe Z in Abhängigkeit vom Abstand X vom Kraterrand gilt: Dat
Z=d-R +1{[R? - (D/2 - X)2] 2 X = Abstand vom Rand. ben
Wie aus der Formel ersichtlich ist, muß zur Bestimmung der Tiefe Z in Abhängigkeit von der Orts-
koordinate X die Kalotte geometrisch vermessen werden. Dazu wird ein berührungslos arbeitendes
Profilmeßgerät verwendet, das mit Hilfe einer Laseroptik die Aufnahme von 3D-Profilen gestattet.
Die Schmiegekurve zur Berechnung des Kalottenradius wird in einem 2D-Schnitt ermittelt, aus
dem ebenfalls die Tiefe d und der Durchmesser D der Kalotte bestimmt werden können, Bild 4. Für
die Umrechnung der am Kalottenschliff gemessenen Dicke in die wahre Dicke einer Zwischen-
schicht dzs6 gilt die Beziehung:
dzs = AZ = ZI - Zo = [R? - (D/2-X1)?]” - [R? - (D/2 - X2)2]1”2.
Nach Bestimmung der Abstände X und X2 kann die Schichtdicke dzg berechnet werden. Die Ge-
nauigkeit der Schichtdicken- und Tiefenbestimmung wird durch die Genauigkeit der Profilmessung
sowie durch die Rauhigkeit des Kalottenschliffes bestimmt. Dabei dominiert die Rauheit der Kalot-
te bzw. des Kalottenbodens. Aus den vermessenen Kalotten kann ein Fehler von ungefähr 10% ab-
geschätzt werden.
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Bild 4: Darstellung des 3-D-Oberflächenprofils und das dazugehörige Linienprofil mit wird
der theoretischen Schmiegekurve 10%
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Oberflächenschliffe sehe:
Sowohl die Schrägschliffe wie auch die Kalottenschliffe sind mit einem hohen Präparationsauf- fein
wand verbunden und setzen die Anwendung teurer Zusatzgeräte voraus. Daher wurde als weitere
Möglichkeit der Oberflächenschliff von der Zn-Seite her untersucht. Bei dieser Präparationstechnik
wird die Tatsache ausgenutzt, daß metallographische Schliffe ohne besondere Schleifhilfen keinen
planparallelen Abtrag haben. Es handelt sich hier also um einen Schrägschliff mit undefiniert klei-
