a 
3.2 Schichtdickenbestimmung In ei 
3.2.1 Schrägschliff verme 
Die Schichtdicke kann anhand eines metallographischen Schrägschliffs bestimmt werden. Dazu errech 
wird die beschichtete Probe unter einem definierten Keilwinkel @ eingebettet und anschließend ein 
metallographischer Schliff hergestellt. Wie in Abb. 4 dargestellt, wird im Auflichtmikroskop die zu T=r 
vermessende Strecke L sichtbar. Aus dem geometrischen Verhältnis errechnet sich die Schichtdicke 
gemäß Gl.1. fr 
d=L>xsina (Gl. 1) Diez 
metallographische Schliffebene 
an h=T 
a. LO Ti a 
fl Schicht 
"Stege 
Abb. 4: Schichtdickenbestimmung am metallographischen Schrägschliff 
Abb. 
3.2.2 Kalottenschliff 
Bei der Kalottenschleifmaschine handelt es sich um eine Eigenkonstruktion /3/, die im wesentlichen 
aus den folgenden, in Abb. 5 dargestellten, Komponenten aufgebaut ist. Der Elektromotor (1) mit 3,3 MI 
der Antriebswelle und den konischen Führungen (2) treibt die Si,‚N,-Kugel (3) an. Gegenüber der Um d 
Kugel befindet sich die Probe (4) im Probenhalter (5). Mit Hilfe einer Tropfflasche (6) wird eine auch 
Diamantsuspension der Fa. Testa mit der Korngröße 3 um als abrasives Medium zugeführt. Umdr 
Aufgrund der Rotationsbewegung schleift die Kugel eine Kalotte in die Schicht und in den 7 der 
Substratwerkstoff . Tribos 
(1) Elektromotor Kı=" 
(2) Antriebswelle mit den konischen Führungen undd 
(3) Si.N,-Kugel 
Ku = 
(4) Probe 
(5) Probenhalter 
4 Erg 
(6) Tropfflasche 4.15 
Die E 
angeg 
Messı 
Abb. 5: Makroaufnahme des Kalottenschleifmaschine 
17.