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Bild 3: Einfluß der Bekeimung im Ultraschallbad; (a) nur Ethanol, (b) wenig Diamantpartikel, 
(c) hohe Konzentration von Diamantpartikeln 
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einer hohen Diamantkonzentration im Ultraschallbad erzielen. Die Diamantschicht ist jedoch Nacf 
größtenteils abgeplatzt und es sind Sekundär- und Tertiärschichten aufgewachsen. Durch die WEOK 
mehrfache Ankeimung ist die Größe der Kristallflächen stark unterschiedlich, wie sich aus Bild 3c fläch 
entnehmen läßt. Die minimale Kristallitgröße liegt etwa bei 1 um, die maximale Kristallitgröße freist 
beträgt etwa 6 um. Die Morphologie wird ebenfalls geprägt von (111)-Flächen und wird demnach Subs 
durch die Ankeimung mit Diamantpartikeln nicht beeinflußt. werd 
Eine Absenkung der Substrattemperatur auf etwa 800°C führte infolge des langsameren Schicht- 
wachstums zu dünneren, homogeneren Diamantschichten. Auf der gereinigten Oberfläche liegt 
noch keine deckende Diamantschicht vor, während bei niedriger Konzentration von Diamant- 
partikeln im Ultraschallbad eine fast dichte Schicht erreicht wird (Bilder 4a-b). Mit zunehmender 
Konzentration der Diamantpartikel im Ultraschallbad wächst wie bei der höheren Temperatur die 
Schichtdicke (Bild 4c). Gleichzeitig nimmt die Zahl der Abplatzungen zu, bleibt aber infolge kleine- 
rer innerer Spannungen deutlich geringer als bei der höheren Substrattemperatur. 
Bild | 
Bild 4: Einfluß der Diamantbekeimung bei niedriger Substrattemperatur (Zuordnung wie Bild 3) Schr