Derartig präparierte Substrate aus feinkörnigem Hartmetall (THM-F) wurden bei etwa 850°C Sub- 
strattemperatur 20 min lang beschichtet. Die Übersicht in Bild 5a zeigt eine dichte, gleichmäßige 
Diamantschicht auf einer spitzen Ecke der Fräsplatte. Die Schneidkante ist mit einer rißfreien, 
homogenen Schicht belegt. Die größten Kristallflächen liegen direkt auf der Kante und sind etwa 
13 um lang. Während hier die (110)-Flächen dominieren, steigt mit zunehmender Entfernung von 
der Kante der Anteil der (111)-Flächen bei gleichzeitiger Abnahme der Kristallitgröße (Bild 5b). 
Die Gegenüberstellung der Kristallstruktur der polykristallinen Diamantschicht in Randnähe und in 
der Substratmitte (Bilder 5c-d) verdeutlicht die Tendenz der Schichtvergröberung in Richtung der 
heißen Kante. Auf den Zusammenhang zwischen Morphologie der Diamantschicht und Tempe- 
ratur an der Substratoberfläche wurde bereits in (2, 10-12) hingewiesen. 
Die nach 60-minütiger Beschichtung bei verringerter Temperatur der Substratoberfläche (800°C) 
abgeschiedene Diamantschicht bestätigt diesen Einfluß nochmal (Bild 6). Die allseitig vom 
Plasmastrahl umgebene Kante heizt sich stärker auf als die Probenmitte, woraus eine dickere 
Diamantschicht auf der Schneidkante resultiert. Während das EDX-Spektrum im Randbereich nur 
noch das Untergrundsignal erkennen läßt (Bild 6a), kommt in der Probenmitte wegen der 
geringeren Dicke der Diamantschicht der Wolframpeak vom WC-Co-Substratmaterial deutlich 
durch (Bild 6b). In beiden Fällen ist kein Signal von der Co-Bindephase sichtbar. Der grobe Bild 
Randbereich weist Kristalle von bis zu 10 um maximaler Ausdehnung auf. Durch die verlängerte 
Beschichtungszeit ist eine dickere Diamantschicht entstanden, die sich trotz der geringeren 
Beschichtungstemperatur insgesamt vergröbert hat, wie den REM-Aufnahmen zu entnehmen ist. heiß 
ist aı 
W 
vb 
7 pn + um 
“ nal ES 
E 
= a ba 
“0 5.900 kKeU 11.0 > 18 5.900 kKeU 11.0 > TEN 
Energie [keV] Energie [keV] 
Bild 6: REM-Aufnahmen und EDX-Analysen einer Diamantschicht auf feinkörnigem Hartmetall; 
(a) Randbereich, (b) Probenmitte 
Neben den bereits aufgeführten Prozeßparametern wie Temperatur der Substratoberfläche und 
Beschichtungsdauer spielt auch die WC-Korngröße des Hartmetallsubstrates eine wichtige Rolle 
für die Ausprägung der Diamantschicht. Auf einem grobkörnigen Hartmetall (BT 10) wächst nach 
der oben beschriebenen Vorbehandlung unter vergleichbaren Synthesebedingungen eine | 
gröbere Diamantschicht als auf dem feinkörnigen Hartmetall. Der Unterschied zwischen der im BL 
154