Parameter minimaler Feretdurchmesser (6) als Maß zur Charakterisierung der Kristallitgröße.
40 —
mittiere Kristallitgröße 150 nm
( anzahlgewichtet )
30
e NEUE Lo a
0.04 0.07 0.1 0.2 0A 0.7 1.0
Kristallitgröße In jum (min. Feret)
Bild 5: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung der Si3N4-Kristallite
in einer SICN-Keramik
Die intrakristallinen SiC-Einlagerungen können ebenfalls über eine interaktive Rekonstruktion an
einer schwach plasmageätzten Keramik ausgewertet werden. Bild 6 zeigt die REM-Aufnahme, das
Cumputerbild sowie die ermittelte Kristallitgrößenverteilung. Für die SiC-Partikel wurde auch der
minimale Feret gemessen, um mit den Siz3N4-Auswertungen vergleichbare Ergebnisse zu erhalten.
mittlere Kristaliitgröße 69 nm
( anzahlgewichtet )
0— ' v 4 T T a
0.04 0.07 0.1 0.2 0.4 0.7 1.0
Kristaliitgröße In jum (min. Feret)
Bild 6: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung intragranularer
SiC-Kristallite in einer SICN-Keramik
Zur quantitativen Auswertung der intergranularen SiC-Kristallite ist die stärkere Plasmaätzung er-
forderlich, um die Korngrenzen zwischen den SiC-Partikeln sichtbar zu machen (Bild 7). Auch hier
ist mit der interaktiven Rekonstruktion der Partikel eine Computerauswertung der Kristallitgröße
möglich (Bild 7)
5 mittlere Kristallitgröße 170 nm
_ ( anzahlaewichtet )
3 10-7
5
OT
N 0.04 0.07 0.1“ "02 04 07 10
Kristallitgröße In jım (min. Feret)
Bild 7: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung intergranularer
SiC-Kristallite in einer SICN-Keramik
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