158 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999)
Abb. 2: Aufnahme der kugelgestrahlten Oberfläche im Stereomikroskop
Durch verschiedene Aufnahmetechniken werden unterschiedliche Bildeffekte erzielt. Die Deutung
der elektronenoptischen Aufnahmen ist jedoch insofern schwierig, als die elektronenoptischen Bil-
der nicht durch die dem menschlichen Auge vertrauten Gesetzmäßigkeiten der Reflexion und Beu-
gung bestimmt werden. Vielmehr erfolgt der Bildaufbau durch gänzlich andere Wechselwirkungen
zwischen dem Elektronenstrahl, dem Metall und den Detektoren, Beispiele dafür sind die elastische
oder unelastische Elektronenstreuung, die Elektronendiffusion oder der Materialkontrast (Abb. 3).
Es überrascht daher, daß rauhe Oberflächen nicht auch bei stärkerer Vergrößerung lichtoptisch im
Metallmikroskop abgebildet werden.
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Abb. 3: Elektronenoptische Bilder der kugelgestrahlten Oberfliche
Die Gründe dafür sind einerseits die mit steigender Vergrößerung abnehmende Tiefenschärfe,
hauptsächlich aber die fehlende räumliche Struktur bei der Abbildung von Oberflächen mit kon-
ventioneller vertikaler Lichtführung (Abb. 4a). Diesem Nachteil kann aber leicht durch das schräge
Beleuchten von der Seite abgeholfen werden (Abb. 4b).