Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 159
“crükale Beleuchtung RD sefecnfn
Abb. 4: Lichtoptische Bilder der kugelgestrahlten Oberfläche mit üblicher vertikaler Beleuchtung (a) und mit
Schrägbeleuchtung (b)
1000 Die geringe Tiefenschirfe des Lichtmikroskops fällt
dabei weniger ins Gewicht, weil tiefere Oberfliachen-
fehler in der Regel auch in der horizontalen Rich-
tung eine größere Ausdehnung besitzen. Es würden
Die Deutung sich zu Ihrer Darstellung auch Optiken mit geringe-
optischen Bil — 100 rer Vergrößerung und entsprechend höherer Tiefen-
on und Be ö schärfe eignen. Abb. 5 zeigt den Zusammenhang
1selwirkungen zwischen gewählter Vergrößerung und Tiefenschärfe
die elastische : im Lichtmikroskop.
rast (Abb. 3) Lichtoptische Bilder mit räumlicher Wirkung kön-
ichtoptisch im N nen grundsätzlich mit bis zu 1000facher Vergröße-
SIN rung dargestellt werden. Die dafür notwendige seit-
liche Beleuchtung der Oberfläche wird jedoch durch
die ungünstige Form der zur Verfügung stehenden
Optiken, bei deren Konstruktion die Erfordernisse
zur seitlichen Lichtführung nicht berücksichtigt
wurden, erschwert. Mit einer verkleinerten Fassung
109 1000 der Optik und der Verwendung von Laserlicht würde
Vergrößerung auch dieser Nachteil entfallen.
Abb. 5: Tiefenschärfe im Lichtmikroskop
Messen der Oberflächenrauheit
Zur Messung der Größe und Tiefe von Fehlern der Oberfläche werden neben dem Tastschnittver-
fahren vor allem elektronenoptische, weniger aber lichtoptische Verfahren eingesetzt. Diese Verfah-
ren sollen im folgenden am Beispiel einer markanten Vertiefung in einer kugelgestrahlten Oberflä-
oo che verglichen werden.
Tashi Tastschnittverfahren
chen TF Das gebrauchlichste Verfahren zum Messen der Oberflichenrauheit ist das Tastschnittverfahren
ch das schräg [2]. Das ertastete Profil der Oberfläche wird üblicherweise sehr stark überhöht dargestellt, um die
Unebenheiten der Oberfläche besser sichtbar zu machen. Gerade dieses Verzerren des Profils führt
jedoch häufig zu einer Fehlbeurteilung des gemessenen Oberflächenprofils. Dies geht aus dem Ver-
gleich eines überhöhten mit einem nicht überhöhten Tastschnittprofil deutlich hervor (Abb. 6).
Während die übliche Darstellung den Eindruck von sehr scharfkantigen Vertiefungen und Erhebun-
gen vermittelt, zeigt das unverzerrte Profil, daß tatsächlich nur sehr flache kalottenförmige Vertie-
fungen aufgezeichnet wurden.
