Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 163 
lichtoptischer Vergrößerung zum Messen der Tiefe bzw. des Tiefenverlaufs von Oberflächenfehlern 
genützt werden. oo 
Ein Vergleich der mit den unterschiedlichen Verfahren ermittelten Profile eines kalottenformigen 
Eindrucks in einer kugelgestrahlten Oberfläche ist in Abb. 12 zu sehen. a 
Bei der Messung mit dem Tastschnittverfahren konnte die Diamantspitze die Erhebung am linken 
Rand der Vertiefung gut abbilden. In das Innere der Vertiefung konnte die Spitze jedoch nicht voll- 
ständig eindringen. Der maximale Höhenunterschied des in Abb. 12 dargestellten Profils beträgt 
daher nur 11um. 4 
Das durch stereoskopische Auswertung der elektronenoptischen Bilder ermittelte Profil zeigt sehr 
große Schwankungen, die durch das Fehlen markanter Punkte in den dunklen Bildbereichen erklär- 
bar sind. Der maximale Höhenunterschied beträgt 17um. 
Das durch das Auswerten der Tiefenschärfebereiche bei hohen lichtoptischen Vergrößerungen er- 
mittelte Profil ist dem letztgenannten sehr ähnlich. Sowohl die Erhebungen als auch die Vertiefun- 
gen in der Oberfläche konnten gut dargestellt werden. Der maximale Höhenunterschied beträgt. 
auch hier 17um. - 
6 ech dis Verdeckte Oberfldchenfehler, wie eingedriickte Bruchstiicke von Strahlteilchen oder Uberlappun- 
7 gen, sowie spaltförmige Vertiefungen und kleine Risse können durch keine der genannten Metho- 
‘ob in ein den entdeckt werden. Solche Oberflichenfehler lassen sich nur durch das Zerschneiden des unter- 
hen dur suchten Teils und das Anfertigen eines randscharfen Schliffs darstellen und vermessen. 
verschiedenen 
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REM-stereoskopische Bildauswertung 
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Lichtoptisch ermitteltes Profil S 1 Oum 
Abb. 12: Gegeniiberstellung der mit verschiedenen Meßverfahren abgebildeten Profile des markanten Kugeleindruckes 
Literaturverzeichnis } 
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4 orden i [51- ‘Wieser H., Zitter H., Proceedings of the Fith International Conference on Shot Peening, Oxford (1993), 191-198. 
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