168 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 
Aquivalenter Teilchendurchmesser ermittelt aus 
allen Teilchen aus EFTEM- allen Teilchen aus TEM- ! Teilchen aus Cr- und Mo- 
Untersuchung Untersuchung bei Verteilungsbildern 
__. 45000-facher VergroBerung , 
90 nm 112 nm 111 nm 
Tabelle 2: Vergleich des dquivalenten Teilchendurchmessers aus TEM und EFTEM Unter- 
suchungen an einer 33410 h bei 600°C ausgelagerten Probe 
Bild 4 zeigt als Beispiel die Auswertung der Verteilung der Cr-reichen Teilchen, also der M»;Ce- 
Karbide an einer 33410 h bei 600°C ausgelagerten Probe. An das durch die Klasseneinteilung 
entstehende Histogramm wurde eine logarithmische Normalverteilung angepaBt. Das selbe 
Verfahren wurde auch fiir die VN-Ausscheidungen (V-Elementverteilungsbilder) und die Laves 
Phase (Mo-Elementverteilungsbilder) durchgefiihrt. 
Eine zuverlässige Ermittlung der Verteilung der Laves Phase war jedoch bei langzeitig gelaufenen 
Proben (33410 h) aufgrund der zu geringen Anzahl der stark vergroberten Laves Phase im 
untersuchten Volumen nicht möglich. Um trotzdem einen Eindruck über die Verteilung der Laves 
Phase zu bekommen und den Untersuchungsaufwand zu begrenzen, wurden an langzeitig 
gelaufenen Proben die Ergebnisse der EFTEM-Untersuchung wie nachfolgend für die 33410 h bei 
600°C ausgelagerte Probe beschrieben mit jenen aus der TEM-Untersuchung kombiniert. 
Vergleicht man den arithmetischen Mittelwert aller mit EFTEM vermessenen Teilchen mit dem aus 
der TEM-Untersuchung (bei ähnlichen Vergrößerungen), zeigt sich, daß die TEM-Ergebnisse einen 
höheren arithmetischen Mittelwert (112 nm) ergeben, als alle mit der EFTEM-Methode 
vermessenen Teilchen (90 nm). Werden jedoch in den EFTEM-Ergebnissen nur die Cr- und Mo- 
bzw. W-Teilchen berücksichtigt, erreicht man praktisch den selben arithmetischen Durchmesser wie 
bei den TEM-Ergebnissen (siehe Tabelle 2). Dies kann dadurch erklärt werden, daß die V-reichen 
MX-Teilchen nur sehr schwer im Hellfeldbild detektierbar sind, also bei einer konventionellen 
Auswertung von TEM-Hellfeldaufnahmen nicht berücksichtigt werden. 
26 r _ 
2 [ = Angepast M,C, | 
> 
18 
Zw 
8 1 
3 18 
8 
a 43 85 128 171 213 256 299 
21 64 107 149 192 235 277 320 
D..nm 
Bild 4: GroBenverteilung der Cr-reichen Teilchen (M,3Ce6-Karbide) 
Die M,3Ce-Teilchen traten in einer Häufigkeit auf, welche eine gute statistische Abbildung durch 
die EFTEM-Methode, auch bei lange Zeit ausgelagerten Proben (33410 h), ermöglicht. Das rechte 
Ende der Verteilung liegt bei etwa 240 nm. Überträgt man nun diesen Wert als oberste Grenze für