294 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 
Kontrast besteht. Ziel der vorliegenden Arbeit ist, abzuklären, ob und unter welchen Bedingungen 
es möglich ist, aus dem Kontrast eindeutig die Orientierung zu bestimmen. ‘ 
U um 
Bild 1: Abnormal gewachsene Körner (dunkel) 
in einer dünnen Silberschicht 
Experimente 
In unseren Untersuchungen wurde ein fokussiertes Tonenstrahlmikroskop FEI FIB 200 xP benutzt. 
Als Ionenquelle diente fliissiges Gallium. Die Ga” Ionen wurden mit 30 kV beschleunigt. Der 
Emissionsstrom wurde bei allen Experimenten bei 2,2 uA konstant gehalten. Der Ionenstrom betrug 
150 pA. Es ist der Kalibrierung halber wichtig, alle Experimente unter den gleichen 
Betriebsbedingungen durchzuführen. Es wurden zwei Experimentarten durchgeführt. 
Th 
Ionenstrahl 
Probe . 
. Kippwinkel 
Bild 2: Typ A Experiment: Kippung eines [001] orientierten Korns um eine (i) <110> und (ii) <100> 
Richtung (gestrichelte Linien in b)). 
a1 b