302 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 
Gerätetechnik (2,3) 
Das BEMI (Barkhausen Noise and Eddy Current Microscope) ermöglicht wahlweise die Messung 
des magnetischen Barkhausenrauschens oder die Wirbelstromprüfung mit Ortsauflösungen bis zu 
10 um. Eine sehr leistungsfähige Manipulationstechnik führt die miniaturisierten Sensoren präzise 
mit einer Positioniergenauigkeit von 1 um über die zu prüfende Oberfläche. Die Meßzeit inklusive 
Positionierzeit liegt pro Meßpunkt bei der Barkhausenrauschmessung bei ca. 1 Sekunde, bei der 
Wirbelstrommessung bei ca. 0,3 Sekunden. Die Daten werden in Datenfeldern gespeichert und 
können nach der Messung mit Hilfe der Bildverarbeitung bearbeitet und klassifiziert werden. Ein 
wesentlicher Punkt dabei ist die Möglichkeit, verschiedene Prüfgrößen Bildpunkt für Bildpunkt 
qualifiziert miteinander verknüpfen zu können. Die durch Verknüpfung entstehenden Bilder werden 
mittels Regressionsalgorithmen in mechanische Eigenschaften (Eigenspannungen, Härte) kalibriert. 
Der Gesamtaufbau des BEMI ist in Bild 2 schematisch dargestellt. Die wichtigsten Komponenten 
des BEMI sind die eigentliche Mikroskopieeinheit, die Motorsteuerung, ein PC zur Manipulator- 
steuerung, Datenerfassung und Auswertung sowie ein weitererer PC zur Bild-verarbeitung, 
Archivierung und Dokumentation. Die Mikroskopieeinheit besteht aus einem verwindungsfreien 
Granitportal mit einer x-y-z-Manipulationseinheit, die den Sensor über eine Probe positioniert, 
welche im Falle der Barkhausenrausch-Mikroskopie durch einen Elektromagneten magnetisiert 
wird. ; 
PC 
- Manipulatorsteuerung 
. . . . Datenerfassung und 
Mikroskopeinheit Auswertung 
Motorsteuerung 
x-v-z-Manipulator 
PC 
- Bildverarbeitung 
- Archivierung 
- Dokumentation 
Bild 2: Schematische Darstellung des Barkhausenrausch- und Wirbelstrommikroskops (BEMI) 
MeBergebnisse (4,5,6,7,8) 
Wirmebehandlungszustand diinner Ferromagneten 
Gesputterte, weichmagnetische Schichten befinden sich in einem Zustand weitab vom 
thermodynamischen Gleichgewicht. Üblicherweise erzielt man die gewünschten 
weichmagnetischen Eigenschaften gesputterter Sendust- Schichten erst nach einer 
Temperaturbehandlung. Typische ProzeBparameter sind je nach Schichtzusammensetzung und 
Anwendungsfall Anlaßtemperaturen zwischen 400-600 °C. Je nach Legierungszusammensetzung