Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 479
Beispiele AlzU3+Zr02 Al,O3+TiCN+Zr0, 3iC+ZrB;/SisN4+ TiN
(Oxid-Oxid) {Oxid-Nichtoxid) (Nichtoxid-Nichtoxid)
— hohe Temperaturen
i.d.R. an Luft — fordert sehr gutes
+ gute KG-Entwicklung in geeigneter Atmosphäre Vakuum oder geeignete
thermisches + einfache Handhabung + Entwicklung aller Korn- Atmosphäre
Atzen —- Abdampfen von Phasen und Phasengrenzen — Abdampfen einzelner
5 Kormwachstum — aufwendig Phasen
— keine Ergebnisse
bekannt
Im Vakuum, 107? mbar,
. 1300...1350 °C, 40 min
Rezepte An Luft, 1480 °C, 60 min. Unter Argon eingequarzt,
1300 °C, 20 min
aggressive Chemikalien + beide Phasen bleiben
Relietbildung,
chr chemisches Aufrauhung - Hartmetalle werden erhalten/ ]
Atzen ~ ungleichméBige selektiv herausgeätzt + Plasmaätzen entwickelt
Korngrenzen alle Phasen
— teure Apparatur
modifizierte Murakami-
Pag: } Lösung, frisch bereitet,
d Präparations Rezepte kochende Phosphorsäure, kochend, 30 min/
eJassische Weise 270 °C, 2-3 min HF-Plasma CF4+O2(1:1),
nthält sie einen 3 min
ngskoeflizienten
Bd Tabelle 3: Atzverhalten und Atzrezepte verschiedener Materialkombinationen.
3.2 Atzen
In der Regel unterscheiden sich die in Dispersions- und Mischkeramiken eingesetzten Phasen
nicht nur in ihren physikalischen, sondern auch in ihren chemischen Eigenschaften stark von-
einander. N
Es ist eher unwahrscheinlich, mit einer Ätzung alle interessierenden Gefügebestandteile ent-
wickeln zu können, auch Mehrfachätzungen führen in vielen Fällen nicht zum gewünschten
Resultat. Eine große Hilfe sind phasenselektiv wirkende Atzverfahren, wie z.B. das reaktive
Plasmaitzen mit CF4+0,, das nur Si-haltige Phasen angreift und nicht auf andere Phasen
wirkt.
Wo elektrochemisches und physikalisches Ätzen nicht zum Erfolg führen, kann häufig über
optische Ätzverfahren (z.B. elektronenmikroskopischer Elementkontrast) eine zumindest be-
friedigende Gefügeabbildung erzielt werden [6, 7]. N
In Tabelle 3 sind die Vor- und Nachteile verschiedener Ätzverfahren für die ausgewählten Bei-
spiele angeführt.
4 Beispiele
Die Beispiele zeigen die Präparation verschiedener industrieller Keramiken in Abhängigkeit von
dem jeweils realisierten Verstärkungsmechanismus und der Art der beteiligten Phasen.
