nt 3. Ergebnisse und Diskussion 
F Mit einem Zweistrahlinterferenzaufbau wurde eine Polystyrolprobe mit einer eingestrahlten 
‘6 Energiedichte ¢ von 280 mJ/cm? mit einem Puls belichtet und die daraus resultierende Topographie 
weisslichtinterferometrisch vermessen. Bild 4 zeigt ein typisches Ergebnis. Die Abmessung der 
; gemessenen Fläche ist 78 x 58 um”. Deutlich sind die induzierten Linienstrukturen zu erkennen. 
Mit einem Profil-Plot (Bild 5) läßt sich eine Periode bzw. ein Linienabstand von 2,8 um bestimmen. 
Mit einem einfachen Profil-Plot kann jedoch die Tiefe der Strukturen t; nur lokal und linienförmig 
1 bestimmt werden. Eine Ermittlung einer mittleren Strukturtiefe über die gesamte gemessene 
Sn Substratfläche würde zu statistisch aussagekräftigeren Werten führen als die Bestimmung mittels 
t Profilanalyse. Dies ist mit der Zygo-Softwareapplikation "Histogramm-Plot" möglich. Dieser ist in 
ı Bild 6 für die gemessenen Höhenwerte von Bild 4 dargestellt. 
Bild 4: Datenma.. 
ie Wellenlänge 
arhalb gewisser 
Dolystyrolproben 
3 mm mit dem Bild 5: Profil-Plo: 
am Luft ohne 
ages von PS im 
Photonenenergie 
em’). Eine gue 
m Weisslicht- 
oskopieverfahren 
en werden. Die 
terale Auflösung 
Bild 6: Histogramm-Plot 
Der Histogramm-Plot gibt dabei die Verteilung der gemessenen Topographiewerte an. Die Abszisse 
stellt die ermittelten Oberflächentopographiewerte (Höhenskala) dar, wobei die Ordinate die 
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