Eindruck- | Höhe [um] | Höhe [um] | Breite [um] | Breite [um] ' Winkel [°] | Winkel [°] ; © 
Nr. AFM MeX , AFM MeX AFM MeX Na 
1 1,87 1,8045 10,49 11,34 140,3 143,7 
2 2,703 17,52 16,54 142,5 143,7 
3 2,388 14,99 14,95 141,0 1446 mt 
4 2,442 15,20 15,52 141,6 145,0 
| 5 3,4785 28,31 27,65 153,5 151,6 
Tabelle 1: Profildaten verschiedener Vickerseindriicke ermittelt mittels AFM und REM 
a — — ee 
u oo | Für die 
Bild 1:REM-Aufnahme eines Vickereindrucks. Bild 2: Digitales Obeflichen Modell (DOM) aus A 
Stereobildpaaren berechnet Rix: 
gekoppı 
A : vorhanı 
AR va i 
1 5 Prat 
\ 4 
Y= 8 
—— AFM 
x 0 5 0 20 25 20 -— VEN .- Vers 
s 10 15 20 um | 
Länge [um] | A 
Bild 3:Profil durch einen Vickerseindruck Bild 4: 3D-Darstellung einer AFM-Aufnahme mit | 
mit 490 mN. berechnetem Lichteinfall Ne 
2. Nickelbasislegierungen a 
Um die optimalen Aufnahmeparameter für eine vergleichende Auswertung von Rauhigkeiten zu He 
ermitteln, wurden Untersuchungen an einer Modellsubstanz durchgeführt. Als Objekte dienten a 
polierte und geiitzte Oberflächen einer einkristallinen Nickelbasislegierung mit kubischen 
Ausscheidungen. Bei der Atzung wird die Matrix angegriffen, die ca. 500 nm großen kubischen 
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