y‘-Ausscheidungen bleiben erhalten. Aufgrund der <011>-Orientierung der Probe sicht man auf die 
. Kanten der y’-Würfel. Zunächst wurde aus den an diesen Proben aufgenommenen Stereobildpaaren 
Si Profile gemessen, um die Güte der Stereoaufnahmen zu überprüfen. Im Profil sind die Kanten der 
7% y’-Würfel deutlich zu erkennen und auch die vertikale Größe der Ausscheidungen liegt mit 300-400 
) nm im erwarteten Bereich (halbe Wiirfeldiagonale bei einer Wiirfelldinge von 500 nm= 350 nm). 
Lo 
) | — Profil einer angeätzten CMSX4-Fläche| 
= A 
3 
© 0 VA An 
2 4 
2 
3 le 
0 2 a 5 8 10 
Länge [um] 
Bild 5: angeätzte y’Ausscheidungen Bild 6:Profil an der in Bild 5 gekennzeichneten Stelle 
Für die Rauhigkeitsmessungen wurden die Größe des aufgenommenen Bildausschnitts und die 
OM) as Auflösung der aufgenommenen Bilder variiert, um den Einfluss dieser Aufnahmeparameter auf die 
Rauhigkeitsdaten zu untersuchen. Die Größe des Bildausschnitts ist direkt mit der Vergrößerung 
gekoppelt, sie ist wichtig, da bei hoher Vergößerungen möglicherweise nicht genügend Fläche 
vorhanden ist, um eine gute Statistik zu erreichen.Die Auflösung der Bilder spielt vor allem bei 
niedrigen Vergrößerungen eine große Rolle, da ein Stereoprogramm mit der Verschiebung einzelner 
markanter Bildpunkte gegeneinander rechnet. Wenn markante Probenstellen nun wegen zu geringer 
Auflösung nicht den Bildpunkt wechseln kann das Stereoprogramm auch keine korrekte 
Höhendifferenz berechnen. Es wurde darauf geachtet, dass bei allen Messungen die gleiche 
Probenstelle erfasst wurde. Damit konnten die Parameter ermittelt werden, die eine von den 
Aufnahme- und Auswertungsparametern weitgehend unabhängige Bildauswertung ermöglichen. 
Als Rauhigkeit Ra (nach EN ISO 4287) ergaben sich: 
'Vergrößerung | Auflösung | Rauhigkeit Ra 
13000x 512x400 0,099 
5000x 512x400 0,099 
200s 1 1024x800 0,092 
Tabelle 2: Rauhigkeitswerte der geiitzten CMSX-4 Oberfläche bei unterschiedlicher Vergrößerung 
Zwischen den Rauhigkeiten, die an den mit 3000 und 5000 facher Vergrößerung aufgenommenen 
Bildern gemessen wurden, besteht fast kein Unterschied. Ein Einfluss der Auflösung konnte an 
diesen Proben nicht festgestellt werden. Bei den geätzten Flächen handelt es sich allerdings auch 
auhigkeiten ZU um relativ regelmäßige Profile, sodass hier bereits früh eine gute Statistik errreicht ist. Daher 
make dente wurden die selben Versuche auch noch an weiteren Proben durchgefiihrt. 
mit kubischen 
Ran kubischen 
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