3. Vergleichsmessungen an behandelten Oberflächen yıetan
Based
Es wurden Aluminium-Bleche verwendet, die chemisch behandelt oder mit Glasperlen bzw. mit
Edelkorund gestrahlt wurden. Während die chemisch behandelten bzw. die mit Glasperlen Ne
gestrahlten Oberflächen relativ gleichmäßige Oberflächenstrukturen aufwiesen, zeigten die mit den AV Fa
scharfen Edelkorund gestrahlten Oberflächen eine deutlich ungleichmäßigere und scharfkantige NE.
Oberfläche. To
Auch bei diesen Messungen wurden die Größe des aufgenommenen Bildausschnitts und die Abstrat
Auflösung variiert, um den Einfluss dieser Aufnahmeparameter auf die Profil- und (other
Rauhigkeitsdaten zu untersuchen. Es wurde darauf geachtet, dass bei allen Messungen die gleiche „RM
Probenstelle erfasst wurde. Hier konnten schließlich Parameter ermittelt werden, die eine von den oe 5
Aufnahme- und Auswertungsparametern weitgehend unabhängige Bildauswertung gestatten. tal
Strahlmittel Vergrößerung Auflösung 'Ra [um] Ra af
Tastschnitt [um] ioe
chemisch ‚ 750x 512x400 10,33 0,32 Fore \
ichemisch 1500x 151200 026 N N „800°
| Edelkorund 500x 512x400 2,6 4,01 Above
| Edelkorund 250% 512x400 326 Lo
' Edelkorund 100x 512x400 3,87 © nn the Alı
‚ Glasperlen 500x 512x400 1,97 3,08
Glasperlen '250x 512x400 2,60 oo U. Intro
Glasperlen '100x 512x400 3,45 — From £
Glasperlen '100x 1024x800 3,08 I be used
chemisch '1000x 512x400 10.23 ‚0,33 Ene
gestrahlt _1000x 512x400 10,04 0,02 pr
Tabelle 3: Rauhigkeitswerte verschiedener Oberflichen gemessen mittels REM, Tastschnitt und WLI (hermo
Die Messergebnisse an den behandelten Oberflächen bestätigen die Ergebnisse der Modellsubstanz. protect
Je größer der Bildausschnitt, d.h. je kleiner die Vergrößerung, desto besser stimmen die study is
Rauhigkeitswerte mit den Werten, die konventionell mittels Tastschnittverfahrens ermittelt wurden, ra dete
überein. Bei den niedrigen Vergrößerungen müssen allerdings höhere Auflösungen der Bilder
benutzt werden, um zu genauen Werten zu kommen. LE
Auch ein Vergleich mit Messungen mittels Weißlichtinterferometers zeigt eine gute San
Übereinstimmung. re
4. Zusammenfassung: [sh
Stereoaufnahmen koénnen ab einer Größenordnung von 100-200 nm sinnvoll zur Messung von carried
Profilen und Rauhigkeiten eingesetzt werden. Bei der Aufnahme der Stereobildpaare ist zu Ch
beachten, dass der Bildausschnitt geeignet gewählt wird. Dabei sollten die Abmessungen der Bilder After 4
mindestens das zehnfache der auszuwertenden Rauhigkeitsstufen betragen, wobei auch noch auf with 4
ausreichende Statistik geachtet werden muss, d.h. bei nicht einheitlich rauhen Proben muss eine Disner
noch größerer Bildausschnitt gewählt werden, da in diesem Fall die Rauhigkeitswerte auch fo
innerhalb eines Bildes beträchtlich schwanken können. Bei niedrigen Vergrößerungen ist dabei auf arse.
eine ausreichende Auflösung zu achten. Vergleiche mit AFM-Tastschnittverfahren und es
WeiBlichtinterferometer zeigen eine gute Übereinstimmung der Hohenprofile und -
Rauhigkeitswerte.
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