Auch bei Aluminiumoxid ist es möglich, mit dem AFM bis in die Darstellung der Nanostruktur vor- Erfahrı
zudringen. Bild 7a zeigt eine thermisch geitzte Al,O3-Keramik mit einer mittleren KristallitgroBe ne
von 98 nm.
; 'b li
| | i a Mittelwert: Ein
1 98 nm Das ie"
12 1998 en
Jonenstra
3 el
= bons
= maT
diesem h
! 4 | Das fone
y AL fe en
40 60 80 100 120 140 160 180 200
. SP Schichtvi
200 nm KristallitgroBe in nm tal
. i 00 nm | Literatur
Bild 7a u.b: AFM-Aufnahme (a) und Häufigkeitsverteilung (b) der Kristallitgröße einer thermisch kann Wi
gedtzten AlyO3-Keramik wurden
SSCA:
Übersich
Zusammenfassung Die Aut
Die hohe z-Empfindlichkeit des Rasterkraftmikroskopes ermöglicht die kontrastreiche Darstellung Kl
der Gefüge von Keramikwerkstoffen bis in den Submikro- und Nanometerbereich. Die Abbildung Anwen)
wird dabei entscheidend durch die Art der Spitze des AFM und durch die Ätztiefe, die bei der Prä- Dakem
paration entsteht beeinflußt. Merz
An Hand von Beispielen nitridischer, carbidischer und oxidischer Hochleistungskeramiken wird ge- Kooperal
zeigt, daß es durch die Optimierung plasmachemischer, thermischer oder chemischer Ätzung mög-
lich ist, die Kristallitstruktur im Mikro- bis hinunter zum Nanometerbereich im AFM abzubilden. Versuch
Bei Kompositkeramiken können die submikrokristallinen Einlagerungen sehr kontrastreich abgebil- Die erst
det werden und quantitativ ausgewertet werden. mit ähn
sind di
Proben
Siliziu
Literatur jeweils
(1) B.Baretzky, B. Reinsch, U.Täffner, G. Schneider u. M. Rühle: "Continuous Microscopy of Beohs:
Ceramic Materials with Atomic Force Microscopy", Z. Metallkunde 87 (1996) 5, 332-340 Gefüge
(2) B.Fenk, H.Opielka, S.Kühnemann, H.Gülgün u. E.Bischoff: "Eine Studie zur Gefügeabbil- wy
dung von Y,03-dotiertem Al,O3 mit bimodaler Korngrofenverteilung”, Prakt.Metallogr. 36 rR
(1999) 8, 433-445 on
(3) P.Obenaus, M.Herrmann u. H.Klemm: "Quantitative Gefügeanalyse von Siliciumnitridkera- Berl,
mik mit submikrokristallinen Einlagerungen", Sonderbände der Prakt.Metallogr., Fortschritte kurzer ‘
in der Metallografie, 1Bd. 28 (1997), 415-420 L
an den
(4) V.Carle, V. Schäfer, U.Täffner, F.Predel, R.Telle u. G.Petzow: "Keramografisches Atzen", [Wie
Prakt. Metallogr.28 (1991) verschi-
19972
