Eine dritte Versuchsreihe lief an unserem Institut an einem Leihgerät (PEC) der Fa. Gatan. Noch 
einmal wurden Aluminiumoxid und Siliziumcarbid in einphasiger Qualität, aber mit einem 
Sinteradditiv, geätzt. Die Beschleunigungsspannung variierte zwischen 2-10kV, der Beschuß war 
senkrecht und die Zeit betrug 50 min. Die Ergebnisse bestätigen die ersten Versuche: Korngrenzen 
zeigen sich nicht, Zweitphasen wie Glasphase bei Al,‚O3 oder Graphit bei SiC lassen sich 
kontrastieren (sie werden vermutlich bevorzugt abgetragen). Bevor oder besser ohne daß es zu 
einer Korngrenzenentwicklung kommt, beginnt schon die Zerstörung der Oberfläche. Lediglich bei 
einem Aluminiumoxid mit einer starken Korngrenzenbelegung konnte aufgrund der herausgeätzten 
Korngrenzenausscheidungen scheinbare Korngrenzen sichtbar gemacht werden. 
Ein vierter Versuch wurde durchgeführt von Herrn Dr. Grünewald, Fa. BAL-TEC, an reinstem 
Aluminiumoxid. Die Beschleunigungsspannung blieb konstant bei SkV, verändert wurden 
Beschußwinkel und Ätzzeit. Eindeutig zeigte der schräge Ionenstrahl einen geringeren Angriff, 
jedoch konnte auch hier keine Kornstruktur sichtbar gemacht werden. 
Als fünfter Versuch wurde eine teilstabilisierte ZrO,-Keramik geätzt, um die Aussagen der Literatur 
nachzuvollziehen. Hier gelingt ohne Problem ein Ätzangriff, Korngrenzen zeigen sich. Der Einfluß 
von schrägem und senkrechten Beschuß ist deutlich zu sehen. 
Ergebnisse in Bildern 
Siliciumcarbid: 
Einfluß der Erhöhung der Beschleunigungsspannung: 
Im ersten Bild (Bild 1), Beschleunigungsspannung 3 kV, ist deutlich der beginnende Abtrag von 
Material um die Zweitphasen und um die Poren zu sehen, mit Erhöhung der Spannung auf 5 kV 
(Bild 2) verstärkt sich dieser Abtrag. Deutlich wird hier die Struktur des Graphits (Bild 3). In Bild 4 
ist das gleiche Material bei 7 kV Beschuß zu sehen, hier wurde nun Material abgesputtert und wohl 
auch wieder angelagert, was zu einer ganz neuen Oberflächentopographie führt. Bei keiner Ätzung 
werden Korngrenzen entwickelt. Bild 5 zeigt zum Vergleich das reale, chemisch geätzte Gefüge. 
3 hc 
Bild 1: 3 kV, 30 min, 45° 
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