245 nm. Bild 7 ist mit niedriger Ätzspannung und langer Zeit und Bild 8 mit hoher Ätzspannung 
und mittlerer Zeit entstanden. Aus dem Material werden Mulden herausgeschlagen, bevorzugt an 
Poren und vielleicht an Bereichen mit hohen Fehlstellen, die sich mit zunehmender Zeit und vor 
allem zunehmender Ätzspannung vertiefen. Es werden sicher hohe mechanische Spannungen 
aufgebaut, da sogar Oberflächenrisse (Bild 8) entstehen. Bild 9 ist eine Aufnahme des realen 
thermisch angeätzten Gefüges. Bild 10 zeigt die Probe ionenbestrahlt mit 5kV und anschließend 
thermisch geätzt.. Hier wollte man an der Anordnung der Artefakte bevorzugte Angriffspunkte 
erkennen. Diese scheinen jedoch willkürlich zu entstehen und nicht an Korngrenzen oder 
Kleinkornbereiche gebunden zu sein. 
Bild 6: ALOs, rein. Links poliert, rechts geätzt mit SkV, 50 min. 
Abtrag 245 nm, gemessen am AFM 
ag findet nicht 
da 
poe 3 
red $00 . . 
7 Bild 7: 3 kV-130 min, senkrecht beschossen 
197