Bild 12 ist ebenfalls Aluminiumoxid mit eingelagertem Zirkoniumdioxid. Aluminiumoxid sieht 
nicht angegriffen aus, das ZrO, dagegen ist herausgelost. Bild 13 ist ein Aluminiumoxid mit 
eingebautem TiCN. Es handelt sich um eine REM-Rückstreuelektronenaufnahme, wie sie durch 
den Massekontrast entsteht. Nach dem Beschuß mit 3kV für 60 min ist die Oberfläche schon 
zerstört. Vermutlich hat sich das abgetragene TiCN auf der Al,O;-Matrix abgelagert (Bild 14). Das 
gleiche Verhalten zeigt SizN4, auch hier ist bei den gewählten Ätzbedingungen die Oberfläche 
zerstört (Bild 15). 
Bild 12: ALO; mit eingelagertem ZrO; (ZTA), welches ganz herausgeldst ist 
Bid 1 
Bei dies 
werden, 
erhalten 
Bild 13; A203 mit TiCN, ungeitzt im Riickstreuelektronenkontrast 
200