ky .
fo Ergebnisdarstellung
i zum Lichtmikroskopie
Shes Anhand der mikroskopischen Durchlichtaufnahmen der Flächenschliffe wurde vermutet, daß die
hochohmigen Kurzschlüsse während der Auslagerung gewachsene Kupferfäden sind (siehe Bild 2).
Die Fäden haben einen Durchmesser von weniger als 1um und liegen in der Grenzfläche zwischen
dem Kernmaterial und dem RCC-Folienharz im RCC-Harz. Auf die rauhe Leiterbahnkante in Lage
3 fokussiert, hat man die richtige Einstellung für die notwendige Tiefenschärfe. Die
Grenzflächenlage konnte durch zwei unabhängige REM-Bildserien bestätigt werden (siehe Bild 3).
Netene Zur leichteren Lokalisierung wird im Lichtmikroskop in der Nähe des Fadens eine Markierung so
Ci angebracht, daß sie später im REM wiederzuerkennen ist und der Faden untersucht werden kann.
+ Keen
B: Detail
uss
«Lt eine
A: Übersicht
mittels einer
{gem Bild 2: Flächenschliff im Durchlicht
pferschicht,
wupferschicht
EDL REM/EDX-Untersuchung
dem
Kupferlage Dazu wurde der in Bild 2 gezeigte Faden in senkrechter Richtung zum Flächenschliff erneut
geschliffen und geschliffen und poliert.
licht). Dabei
werden um ein A: Lichtmikroskop
werden (siehe
Curzschlusses ;
Ile und präzise =
J Jie Probe Cufaden yar der RCCFolie
mn muß beachtet B: REM
Jativ weichen
x vermieden. Bild 3: Faden in der Grenzfläche zwischen Kern und RCC-Harz
Das Ergebnis der Elementanlayse des Fadens zeigte einen deutlichen Peak beim Kupfer, so daß der
Verdacht bestätigt wurde, daß es sich bei dem Faden um einen leitfähigen Kupferfaden handelt, der
die oben genannten Kurzschlüsse verursacht.
371