ie aller- TEM-Untersuchungen von Ausziehabdriicken wurden ebenfalls im hellen Oberflichenbereich
r, Al, Fe mit innerer Oxidation durchgeführt. Auch hier waren Anhäufungen von AIN unterhalb der Oxide
ich dem erkennbar.
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— 500nm
Bild 9: TEM-Ausziehabdriicke an der unmittelbaren Feinblechoberfliche und nach schrittweisem
Abpolieren der Feinblechoberfliche im dunklen Oberflichenbereich
a) Oxide der Elemente Mn, Cr und Al an der unmittelbaren Oberfläche (ohne Politur)
b) Oxide der Elemente Mn, Cr und Al und Anhäufungen von AIN nach 60s Politur
c) AIN vereinzelt; nach 120s Politur
Lokale quantitative Elementverteilung und Tiefenprofilanalyse
Die laterale Verteilung der Elemente O, Mn, Cr und Al in ihrer Zuordnung zur unterschiedlich
gefärbten Feinblechoberfläche wurde mit der wellenlängendispersiven Mikrobereichsanalyse
(WDX) quantifiziert (Bild 10) [9]. Die Tiefenverteilung der Elemente Mn, Cr und Al wurde mit
der GDOES bestimmt (Bild 11) [10]. Bei der Messung der Tiefenverteilung der leichten Elemente
O und N haben sich die geringe Informationstiefe und das sehr gute Nachweisvermögen der
Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie (SNMS) bewährt (Bild 12)[11].
Massen- Dunkle Helle
anteile in % Oberfläche Oberfliche Elementkonzentration
A op = |
2,01 7 Pol
AM [Ai2%)
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20! N : 1 Oberfläche
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n Abpoli MeBstrecke in pm (Delta = 40 pm) Tiefe in um
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Bild 10: Mikrobereichsanalyse (WDX) der Elemente Bild 11: GDOES-Tiefenprofile der Elemente
0, Mn, Cr und Al an der Feinblechoberfléche Al, Mn und Cr an der Feinblechober-
dargestellt als Ortsprofil zwischen dunklem fläche im dunklen (durchgezogene
und hellem Bereich Linie) und hellen Bereich
(punktierte Linie)
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